Boston Micromachines公司開創(chuàng)了MEMS（微機電系統(tǒng)）可變形鏡面技術，MEMS可變形反射鏡用于的光學控制。這些微型精密變形鏡使世界研究人員能夠在天文學、顯微鏡技術、激光控制和視網(wǎng)膜成像方面取得突破。在MEMS可變形反射鏡開發(fā)和擴展到全高分辨率成像系統(tǒng)方面，Boston Micromachines公司致力于推動光子學應用領域的研發(fā)。

詳細介紹

MEMS（微機電系統(tǒng)）可變形鏡面技術MEMS可變形反射鏡

維爾克斯光電為用戶提供來自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微機電可變形反射鏡和微機電分段變形鏡，類型主要分為低致動器數(shù)DM、中執(zhí)行器計數(shù)DM以及高執(zhí)行器數(shù)MEMS可變形反射鏡。

Multi-DM可變形鏡能夠實現(xiàn)高達 5.5 μm 的行程、2 kHz 的幀速率、亞納米級步長且無滯后。以 X-Driver 的形式為 Multi-DM 系統(tǒng)提供高速電子升級。

中執(zhí)行器數(shù)DM系統(tǒng)是高性能波前校正器，適用于天文學、激光通信和遠程成像等要求嚴苛的應用，提供三種類型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。

Kilo-DM可變形鏡是用于精確、高速、高分辨率波前控制的使能組件。多達 1020 個執(zhí)行器控制在1納米以下的精度且無滯后，該系統(tǒng)非常適合要求嚴苛的應用。

作為流行的Kilo-DM可變形鏡的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并產(chǎn)生的效果。492-DM和648-DM系統(tǒng)分別將492和648執(zhí)行器的精度控制在1 nm以下且無滯后，是天文學和下一代成像應用的理想選擇。

Boston Micromachines的MEMS可變形反射鏡其中低制動器數(shù)MEMS反射鏡是用于高級波前控制的經(jīng)濟且通用的像差調制解決方案，具有高達140個精確控制的元件和低致動器間耦合，Multi-DM系統(tǒng)是包括顯微鏡、天文學、視網(wǎng)膜成像和激光束整形應用在內的廣泛應用的理想選擇。這種DM可用于自適應光學或空間光調制器應用的連續(xù)和分段表面。

Boston Micromachines Corporation(BMC)是高執(zhí)行器數(shù)MEMS變形鏡技術的者，這些反射鏡部署在世界各地的天文設施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安裝在雙子座行星成像儀器上2K-DM則包含在多個空間望遠鏡概念的設計中。

此外，2K-DM 被安裝為斯巴魯日冕儀自適應光學（SCExAO）儀器和麥哲倫望遠鏡 (MagAO-X) 的實驗性日冕自適應光學系統(tǒng)中的啟用組件。多年來，兩者都一直在空中觀測中持續(xù)運行。

MEMS可變形反射鏡反射鏡特點：

-大陣列產(chǎn)生高分辨率波前校正。

-的微結構允許對高空間頻率表面的相鄰執(zhí)行器之間的影響最小

-優(yōu)化設計可實現(xiàn)高速應用的快速波前整形

微機電分段變形鏡，MEMS可變形反射鏡規(guī)格：

DM型號	執(zhí)行器數(shù)量	跨孔徑執(zhí)行器數(shù)量	物理行程（μm）	波前行程（μm）	孔徑（mm）	螺距（μm）	機械響應	更新率：標準（kHz）	更新率：高速（kHz）	近似執(zhí)行器耦合
492-S-1.0-SLM	492	24	1.0	2.0	9.60	400	＜80	60	n/a	0%
492-3.5-SLM	492	24	3.5	7.0	9.60	400	＜80	45	n/a	0%
Kilo-CS-1.0-SLM	952	34	1.0	2.0	13.60	400	＜80	60	n/a	0%
Kilo-C-3.5-SLM	952	34	3.5	7.0	13.60	400	＜80	45	n/a	0%
2K-1.5L-SLM	2040	50	1.5	3.0	20.00	400	＜20	30	n/a	0%
2K-3.5-SLM	2040	50	3.5	7.0	20.00	400	＜80	30	n/a	0%

請注意：填充系數(shù)>98%(SLM)，表面形狀：<30 nm

*自定義執(zhí)行器可根據(jù)要求提供

微機電可變形反射鏡, MEMS變形鏡規(guī)格：

DM型號	執(zhí)行器數(shù)量	跨孔徑執(zhí)行器數(shù)量	物理行程(μm）	波前行程(μm)	孔徑（mm）	螺距(μm)	機械響應	更新率：標準（kHz）	更新率：高速（kHz）	近似執(zhí)行器耦合
Multi-C-1.5L-DM	137	13	1.5	3.0	4.80	400	＜75	2	100	15%
Multi-3.5-DM	140	12	3.5	7.0	4.40	400	＜75	2	100	13%
Multi-3.5L-DM	140	12	3.5	7.0	4.95	450	＜75	2	100	13%
Multi-5.5-DM	140	12	5.5	11.0	4.95	450	＜100	2	100	22%
492-S-0.6-DM	492	24	0.6	1.2	6.90	300	＜20	60	n/a	15%
492-S-1.0-DM	492	24	1.0	2.0	9.20	400	＜75	60	n/a	13%
492-1.5-DM	492	24	1.5	3.0	6.90	300	＜20	45	60	15%
492-3.5-DM	492	24	3.5	7.0	9.20	400	＜75	45	60	13%
492-5.5-DM	492	24	5.5	11.0	10.35	450	＜100	45	60	22%
648-5.5-DM	648	28	5.5	11.0	12.15	450	＜100	45	60	22%
Kilo-CS-0.6-DM	952	34	0.6	1.2	9.90	300	＜20	60	n/a	15%
Kilo-CS-1.0-DM	952	34	1.0	2.0	13.20	400	＜75	60	n/a	13%
Kilo-C-1.5-DM	952	34	1.5	3.0	9.90	300	＜20	45	60	15%
Kilo-C-3.5-DM	952	34	3.5	7.0	13.20	400	＜75	45	60	13%
2K-1.5L-DM	2040	50	1.5	3.0	19.60	400	＜40	30	n/a	15%
2K-3.5-DM	2040	50	3.5	7.0	19.60	400	＜75	30	n/a	13%
3K-1.5-DM	3063	62	1.5	3.0	18.30	300	＜20	16	n/a	15%
4K-3.5-DM	4092	64	3.5	7.0	25.20	400	＜75	16	n/a	13%

請注意：填充系數(shù)>99%(DM)，表面形狀：<30 nm
*自定義執(zhí)行器可根據(jù)要求提供

MEMS可變形反射鏡可用的選項：

變形鏡	鍍層	窗口AR鍍層（nm）	驅動*
Multi	鋁金防護銀	400-1100 550-2500 650-1050 1050-1700 1550	Multi-Driver X-Driver
492 648 ** Kilo		400-1100 550-2500 1550	S-Driver ** Kilo-Driver Kilo-Low-Latency-Driver
2K 3K 4K		400-1100 550-2500 1550	+K Driver