適用于紅外波段的高精度硅微透鏡陣列
微透鏡陣列常見的生產(chǎn)材質(zhì)主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦較好的透過率和耐受性，在適用波段上，根據(jù)材質(zhì)的不同，分為紫外，可見光波段和紅外熔融石英。而硅材料，在紅外波段可工作的波長范圍比熔融石英更廣，也是常見、的紅外波段Si復(fù)眼透鏡生產(chǎn)材質(zhì)。塑料材質(zhì)，因為工藝上的差異，更適合于微透鏡陣列的批量生產(chǎn)，在成本控制上性價比跟高。
我司現(xiàn)隆重推出硅微透鏡陣列，以滿足可在紅外波段的應(yīng)用需求。現(xiàn)階段的Si微透鏡陣列雖然剛起步，但亦有數(shù)十個標(biāo)準(zhǔn)品型號?？趶侥依ǔＲ姷某叽?，在100-1500μm之間。因為硅制的紅外微透鏡陣列，材質(zhì)折射率比較大，所以，相同的工藝下，我們不僅達成了與熔融石英微透鏡陣列一致的加工精度，同時，在微透鏡陣列的焦距上有了更大的可選擇性。
與微透鏡陣列系類似，紅外微透鏡陣列常見的應(yīng)用有：準(zhǔn)直、勻化、波前傳感等等。其主要的應(yīng)用，是在傳感器中，提高儀器的信息收集效率和探測精度。
考慮到客戶的應(yīng)用場景和實際需求，現(xiàn)階段的口徑只有方形。當(dāng)然，如果客戶有其他口徑形狀的紅外微透鏡陣列需求，亦可定制加工。口徑上，主要有常見的100、200、250、500、800、1000、1100和1500μm等。硅材質(zhì)紅外波段的微透鏡陣列在厚度上，可以比熔融石英的更薄，做到0.25mm。鏡片尺寸上，依舊以常見的10*10mm為中心。
隨著客戶的需求的不斷發(fā)展，我司Si微透鏡陣列也會不斷發(fā)展提高。目前Si微透鏡陣列的加工精度與熔融石英的微透鏡陣列一致，定制加工的能力上也是。但是因為Si復(fù)眼透鏡的材質(zhì)的折射率更高，所以客戶定制的時候，焦距可以放的更大，可選擇性更廣。
常規(guī)定制加工限制：
-ROC誤差：±5%
-表面粗糙度：<30nm
-Pitch誤差：小于±1μm
-子單元之間存在2-4μm的間隙
常規(guī)定制加工限制：
-子單元（微透鏡）的pitch值介于15-1500μm
-子單元的矢高（穹頂?shù)揭r底的高度sag）介于0.7-50μm
-只能加工單片平凸結(jié)構(gòu)，雙凸加工不了
現(xiàn)有硅微透鏡陣列標(biāo)準(zhǔn)品型號：
| 微透鏡陣列型號 | 子單元形狀 | Pitch/μm | F/mm | 鏡片尺寸/mm | 厚度/mm | 鍍膜 |
| MLSi-S100-F0.157 | 方形 | 100 | 0.157 | 6.85×6.85 | 0.25mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S100-F0.157 | 方形 | 100 | 0.157 | 6.8×6.8 | 0.25mm | 增透膜 |
| MLSi-S127-F0.53 | 方形 | 127 | 0.53 | 10×10 | 1mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S200-F3 | 方形 | 200 | 3 | 10×10 | 1mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S200-F3 | 方形 | 200 | 3 | 10×10 | 1mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S250-F0.66 | 方形 | 250 | 0.66 | 10×10 | 1mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S500-F5 | 方形 | 500 | 5 | 10×10 | 1mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S500-F5 | 方形 | 500 | 5 | 15.5×15.5 | 1mm | 增透膜 |
| MLSi-S800-F2.59 | 方形 | 800 | 2.59 | 10×10 | 1mm | 增透膜 |
| MLSi-S1000-F15 | 方形 | 1000 | 15 | 12×12 | 2mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S1015-F40 | 方形 | 1015 | 40 | 10×10 | 2mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S1100-F35 | 方形 | 1100 | 35 | 12×12 | 2mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S1100-F35 | 方形 | 1100 | 35 | 15×15 | 1mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S1100-F35 | 方形 | 1100 | 35 | Φ25.40 | 2.5mm | 未鍍膜 |
| MLSi-S1500-F35 | 方形 | 1500 | 35 | 12×12 | 2mm | 未鍍膜 |
