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集成薄膜濾光片的光電二極管

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更新時間：2024-02-07 13:52:33瀏覽次數(shù)：110次

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產(chǎn)品簡介

OptoDiode濾光片光電二極管有效面積是100mm2，檢測范圍是1-80nm。集成薄膜濾光片的光電二極管采用薄膜沉積工藝，用于檢測太陽EUV輻射、軟X射線輻射測量、X射線和EUV光刻、X射線顯微鏡和XUV光譜

詳細介紹

AXUV100TF030光敏二極管，薄膜沉積工藝

集成薄膜濾光片的光電二極管存儲和工作溫度在環(huán)境下是-10°C~40°C，在氮氣或真空是-20°C至80°C，引線焊接溫度是260°C。

OptoDiode生產(chǎn)集成薄膜濾光片，用于檢測太陽EUV輻射、軟X射線輻射測量、X射線和EUV光刻、X射線顯微鏡和XUV光譜。美國OptoDiode還生產(chǎn)光學濾光片窗口、日光濾光片和多波長封裝組件。

OptoDiode集成薄膜濾光片光敏二極管檢測范圍是1-80nm，有效面積是100mm2，發(fā)貨時帶有保護罩，可以避免元件受損。美國集成薄膜濾光片的光電二極管用于電子檢測，電壓直流反向值10伏，靈敏度0.09-0.15A/W，波長范圍是3-40nm。OptoDiode濾光片光電二極管采用薄膜沉積工藝。

OptoDiode集成薄膜濾光片光敏二極管的型號

型號	零件編號	描述	有效面積mm2	響應率（A/W）	波長（nm）	檢測范圍（nm）
AXUV100TF030	ODD-AXU-019	帶有直接沉積薄膜濾光片的光電二極管	100	0.16	3	1-12
AXUV100TF400	ODD-AXU-002	帶有直接沉積薄膜濾光片的光電二極管	100	0.15	40	18-80
SXUV100TF135	ODD-SXU-013	帶有直接沉積薄膜濾光片的光電二極管	100	0.09	13.5	12-18

AXUV100TF400光敏二極管的特點

- 100平方毫米的有效面積

- 波長40納米靈敏度為0.15 A/W

- 檢測范圍：18納米至80納米

- 發(fā)貨時帶有保護罩

AXUV100TF400光敏二極管10mmx10mm測試條件下，有效面積的典型值是100mm2。在40nm波長下靈敏度典型值是0.15A/W。當VR為±10mV時，分流電阻最小值為20歐姆，當電阻的電流為IR=1µA時，反向擊穿電壓最小值是5V，典型值是10V。VR=0V時，電容的典型值是10nF,值是44nF。

AXUV100TF030光敏二極管的特點

- 100平方毫米的有效面積

- 3納米處的靈敏度為0.16 A/W

- 檢測范圍：1納米至12納米

- 發(fā)貨時帶有保護罩

AXUV100TF030光敏二極管在25°C時的電光特性如下。在10mmx10mm測試條件下，有效面積的典型值是100mm2。在3nm波長下靈敏度典型值是0.16A/W。當VR為±10mV時，分流電阻最小值為20歐姆，當電阻的電流為IR=1µA時，反向擊穿電壓最小值是5V，典型值是10V。VR=0V時，電容的典型值是10nF,值是44nF。

從典型的靈敏度圖可以看到從波長5nm開始靈敏度隨著波長的增加而減小。

SXUV100TF135光敏二極管的特點

- 100平方毫米的有效面積

- 在13.5納米處靈敏度為0.09 A/W

- 探測范圍12納米至18納米

- 發(fā)貨時帶有保護罩

SXUV100TF135光敏二極管在10mmx10mm測試條件下，有效面積的典型值是100mm2。在13.5nm波長下靈敏度最小值是0.08A/W，典型值是0.09A/W，值0.1A/W。當VR=15V時，暗電流典型值是8nA，值是25nA。當IR=1µA時，反向擊穿電壓最小值是25V。VR=0V時，電容的最小值是0.8nF，典型值是1nF，值是1.2nF。VR=12V時，電容的最小值是220pF，典型值是260pF，值是350pF。當RL=50Ω, VR=12V時，上升時間的典型值是30納秒。從波長與靈敏度的關系圖中可以看到在集成濾光片在13.5nm波長后靈敏度的值是下降的。