支持所有高分辨率顯微鏡的高性能P200L半自動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)
美國(guó)Micromanipulator的P200L半自動(dòng)探針平臺(tái)是專(zhuān)門(mén)為低電流、亞微米級(jí)定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。P200L半自動(dòng)探針臺(tái)的標(biāo)準(zhǔn)配置是單點(diǎn)接地和集成熱冷管道。P200L半自動(dòng)顯微鏡探針平臺(tái)具有高精度和高分辨率，并且采用的是絲桿-絲桿螺母和平臺(tái)驅(qū)動(dòng)，其中平臺(tái)是由不銹鋼制成的并且?guī)в锌刹鹦肚靶ê透叻€(wěn)定性的顯微鏡支撐架，能夠支持所有高分辨率顯微鏡。
P200L半自動(dòng)顯微鏡探針平臺(tái)系統(tǒng)的多功能控制器支持USB、GPIB、RS-232和TCP/IP通信（通過(guò)要求進(jìn)行合適的選擇）。P200L半自動(dòng)顯微鏡探針平臺(tái)系統(tǒng)的XYZ平臺(tái)可以通過(guò)操作器控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)或者電腦編程軟件控制，顯微鏡控制也可以選擇操作器控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)或者電腦編程軟件控制，不僅如此，該系統(tǒng)還可以通過(guò)腳本和目前流行的探針臺(tái)驅(qū)動(dòng)程序進(jìn)行兼容，這是因?yàn)閺S家提供了一個(gè)帶有用戶(hù)GUI的索引腳本和一個(gè)Labview VI使用戶(hù)可以直接使用該系統(tǒng)。除此之外，電腦編程軟件控制的還可以通過(guò)可選的netProbe7軟件進(jìn)行控制，netProbe7軟件具有廣泛的GUI，包括導(dǎo)航、晶圓圖和視頻應(yīng)用程序以及用于GPIB連接的路由器應(yīng)用程序（注意：netProbe7軟件需要單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)）。
P200L半自動(dòng)探針臺(tái)可以配置干燥/EMF屏蔽/黑暗的環(huán)境滿(mǎn)足低電平或低溫探針的測(cè)試。P200L型號(hào)半自動(dòng)探針臺(tái)的高效和堅(jiān)固可靠性結(jié)合其相對(duì)低價(jià)格的優(yōu)勢(shì)，使其成為一種真正具有成本效益的200 mm半自動(dòng)探針臺(tái)的理想選擇。
半自動(dòng)探針平臺(tái)P200L的規(guī)格參數(shù)：
- 設(shè)備占地面積為22.75英寸 x 23.35英寸（57.5 x 59.3厘米）
- 探針臺(tái)的寬度、深度、高度為28.5英寸 x 26.75英寸 x 21.5英寸（72.5 x 68.0 x 55.0厘米），重量為250磅（115公斤）
- 臺(tái)面行程范圍：200 x 200 x 25 mm（X-Y-Z），支持測(cè)量高達(dá)200 mm直徑的晶圓/樣品
- 探針臺(tái)分辨率為0.5 um，精度為±5 um，重復(fù)性精度為正負(fù)2 um
- 不銹鋼/磁性臺(tái)面，4電機(jī)驅(qū)動(dòng)/可編程的1 um分辨率螺旋絲桿驅(qū)動(dòng)，±1 um的重復(fù)性精度
- 標(biāo)準(zhǔn)的0.7 um分辨率和15度范圍的手動(dòng)Theta控制，可選電動(dòng)驅(qū)動(dòng)/可編程Theta驅(qū)動(dòng)
- 手動(dòng)顯微鏡行程范圍：100 x 100 x 50 mm（X-Y-Z），配備有32 mm的Z軸機(jī)械定位，可選電動(dòng)驅(qū)動(dòng)/可編程顯微鏡驅(qū)動(dòng)
- 提供全面的配件和選型，包括：獨(dú)立的顯微鏡升降（可調(diào)節(jié)顯微鏡升降延遲）、集成干燥/黑暗/EMF屏蔽/低溫環(huán)境、探針卡座、光隔離模塊、熱夾具、手動(dòng)/電動(dòng)操作器
P200L半自動(dòng)探針平臺(tái)的特點(diǎn)：
- 高穩(wěn)定性加工基座和顯微鏡支撐架支持所有高分辨率顯微鏡的小目標(biāo)探測(cè)
- 不銹鋼平臺(tái)支持真空或磁性底座操作器
- 可拆卸的前楔提供了額外的空間放置操作器，并且是配置為局部干燥/黑暗環(huán)境時(shí)的進(jìn)入口
- 可以通過(guò)操作器控制平臺(tái)和可選的顯微鏡的XYZ三軸驅(qū)動(dòng)
- 人體工學(xué)、直觀、緊湊的設(shè)計(jì)提高了使用便利性，同時(shí)增加了穩(wěn)定性
- 緊湊的占地面積，能夠有效利用實(shí)驗(yàn)室空間
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