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SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺

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更新時間：2024-02-07 09:55:45瀏覽次數(shù)：199次

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深圳維爾克斯光電有限公司

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產(chǎn)品簡介

該納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實現(xiàn)超高速性能和低納米級重復(fù)性。此壓電納米定位臺樣品架和載物臺可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測試和半導(dǎo)體檢測的廣泛應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺，長行程，高精度，壓電納米定位

英國Prior·queenstage 推出的壓電納米定位平臺：SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺，該納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實現(xiàn)超高速性能和低納米級重復(fù)性。此壓電納米定位臺樣品架和載物臺可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測試和半導(dǎo)體檢測的廣泛應(yīng)用。閉環(huán)行程500um。SP-Mini-500壓電納米定位臺，占地面積小，是理想的易于集成在儀器或測試設(shè)備中的緊湊型納米壓電定位臺。該Prior·queenstage的納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實現(xiàn)超高速性能和低納米級重復(fù)性。

SP-Mini-500壓電納米定位臺主要應(yīng)用：

-高精度顯微鏡：共聚焦和光片等

-硬盤檢測

-半導(dǎo)體檢測和制造

-配合科學(xué)和醫(yī)療研究設(shè)備使用

-鏡片定位

-納米壓電位移和納米樣品定位等

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺的平臺在整個500微米的行程范圍內(nèi)保持非常穩(wěn)定的狀態(tài)。這使得樣品架可以偏移放置。此電動Z軸在保持高性能定位的同時提高了對檢測設(shè)備對于樣品的定位能力。此Prior?queenstage的壓電納米定位臺的樣品架和載物臺可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測試和半導(dǎo)體檢測的廣泛應(yīng)用。

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺

緊湊型納米壓電定位臺SP-Mini-500的主要特點：

-＞500 um行程，納米級分辨率

-非常低的旋轉(zhuǎn)誤差：0.0025°

-電容式定位傳感器，提供較高位置精確度和準(zhǔn)確度。2 nm分辨率和5 nm重復(fù)度

-線性誤差一般為＜0.002%

-動態(tài)性能：空載諧振頻率一般為210 Hz，同服環(huán)路帶寬可達55 HZ

-原位掃描和步進響應(yīng)優(yōu)化

-即插即用：載物臺連接器包含載物臺校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和參考傳感器，便于控制器互換

-壓電納米定位

壓電納米定位臺SP-Mini-500的技術(shù)規(guī)格

技術(shù)規(guī)格	參數(shù)			單位
材質(zhì)	鋁和不銹鋼
尺寸	36.5 x 60 x 24.5 10 15x15mm			mm
	最小	常規(guī)
開環(huán)行程	550	650		um
閉環(huán)行程		500		um
靜態(tài)剛度		0.135		Num-1
諧振頻率：0 g負(fù)載		210		Hz
諧振頻率：20g負(fù)載		195		Hz
諧振頻率：負(fù)載			1	Kg
動力參數(shù)	慢速	中速	快速
3 dB帶寬			55	Hz
小信號穩(wěn)定時間			10	ms
位置噪音/分辨率	2		5	nmrms
重復(fù)性（半程）	5			nm
誤差	最小	常規(guī)		單位
線性誤差（峰值）		0.02		%
旋轉(zhuǎn)誤差（roll）		0.0025		deg
旋轉(zhuǎn)誤差（pitch）		0.0025		deg
旋轉(zhuǎn)誤差（yaw）		0.005		deg