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深圳維爾克斯光電有限公司


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聚焦光束檢測(cè)設(shè)備

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更新時(shí)間:2023-04-12 13:52:39瀏覽次數(shù):262次

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聚焦光束檢測(cè)設(shè)備(FBP)可以實(shí)現(xiàn)5μm到100μm光斑尺寸的測(cè)量,功率可接受50mW到500mW的范圍,德國degger-tools公司的超短脈沖聚焦光斑檢測(cè)設(shè)備主要適用于三個(gè)主要波段,分別是:1030/1064nm,515/532nm,343/355nm,同時(shí)可以配置相應(yīng)的衰減片,實(shí)現(xiàn)更高功率的檢測(cè)。

詳細(xì)介紹

       聚焦光束檢測(cè)設(shè)備基于相機(jī)式原理的相機(jī)式光斑分析儀,儀器內(nèi)部采用CMOS傳感器實(shí)現(xiàn)探測(cè),但是單純的CMOS傳感器無法承受焦點(diǎn)光斑的功率密度,因此Degger-tools在激光入口處進(jìn)行特殊處理,入口前面設(shè)計(jì)光學(xué)成像以及衰減元件。因?yàn)槌旒す獾哪芰棵芏冗^高,必須對(duì)所有光學(xué)元件對(duì)單一波段進(jìn)行反光涂層,用于實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)光斑的監(jiān)控測(cè)試需求,因此僅可對(duì)三個(gè)波段實(shí)現(xiàn)測(cè)量。聚焦光斑分析儀在超快激光的精密生產(chǎn)上有廣泛的應(yīng)用,是調(diào)試高精度DOE的工具。

Focus Beam Profile是德國Degger-tools生產(chǎn)用于光斑檢測(cè)設(shè)備,主要測(cè)量焦點(diǎn)光斑輪廓,尺寸和位置的聚焦光斑分析儀,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)超短脈沖激光狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控,主要適用于三個(gè)波段:1030/1064nm,515/532nm,343/355nm,該設(shè)備的有效傳感面積為6.656 mm x 5.325 mm,在配置對(duì)應(yīng)的采樣器或衰減片后,可以實(shí)現(xiàn)大功率的監(jiān)控需求。



超短脈沖聚焦光束分析儀規(guī)格參數(shù):

Focus Beam Profile

傳感器類型

CMOS

尺寸

150mm×130mm×56mm

光譜范圍:

1030/1064nm,515/532nm,343/355nm

功率范圍

50mW — 500mW

總分辨率

1.31 Mpixel

芯片尺寸

6.656 mm x 5.325 mm

像素大小

5.2 μm

精度-光束位置

± 0.2 μm

精度-光束質(zhì)量-M2

± 5 



聚焦光束輪廓分析儀M2測(cè)量方法:

聚焦光束監(jiān)控M2因子一直是激光檢測(cè)的難題,傳統(tǒng)利用導(dǎo)軌檢測(cè)的方案無法實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)測(cè)量,因此再檢測(cè)時(shí)需要在瑞利長度內(nèi)選取采樣數(shù)據(jù),保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

假設(shè)激光波長是1微米,激光聚焦后的瑞利長度就為1.26mm。按照ISO11146檢測(cè)要求最少需要檢測(cè)15個(gè)截面,如下圖說示,方框里面五次檢測(cè),方框左右各五次檢測(cè)。

當(dāng)激光的聚焦面大致在Focus Beam Profile的入口處的時(shí)候,就可以測(cè)量當(dāng)前截面的直徑,通過上下移動(dòng)振鏡,就可以得到不同截面的激光分布和直徑。一直上下移動(dòng)就可以找到最小的直徑,也就是聚焦平面了,我們定義為Z0。

找到聚焦平面后,以當(dāng)前的激光為例子,需要測(cè)量Z-1.8mm1.8mm,

-1.8到-1.2之間需要測(cè)量5個(gè)截面。

-1.2到1.2之間需要測(cè)量5個(gè)截面。

-1.2到1.8之間需要測(cè)量5個(gè)截面。

當(dāng)然,也可以從-1.81.8 每隔0.1mm測(cè)量一次。這樣就可以得到所有截面的能量分布,激光直徑。


測(cè)量的分布數(shù)據(jù)可以選擇不同的圖片格式保存下來,jpgpng,tiff,等等。原始數(shù)據(jù)csv也可以輸出。


Degger相機(jī)式光斑分析儀訂購型號(hào)及描述:

Focus Beam Profile


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