Teledyne HFM-D-300A/B 質(zhì)量流量計(jì)和HFC-D-302A/B 質(zhì)量流量控制器
HFM-D-300A/B質(zhì)量流量計(jì),流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm
HFC-D-302A/B質(zhì)量流量控制器,流量范圍0-5 sccm到0-25 slm
全金屬,快速響應(yīng),精確度高!
質(zhì)量流量技術(shù)提供可靠,可重復(fù)和準(zhǔn)確的氣體流速測(cè)量。
Teledyne HFM-D-300A / HFC-D-302A質(zhì)量流量?jī)x器的流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm; 使用所有金屬密封件,提供模擬和數(shù)字輸出,并由不銹鋼制成。通過基于Windows的軟件界面提供簡(jiǎn)單,用戶友好的數(shù)字通信。
數(shù)字功能中包含傳感器,閥門和溢流的自診斷功能。同樣令人感興趣的是自動(dòng)調(diào)零功能,它可以檢測(cè)閥門何時(shí)關(guān)閉并自動(dòng)重置零點(diǎn)。這些質(zhì)量流量計(jì)和控制器可以存儲(chǔ)多達(dá)10種不同范圍和氣體的校準(zhǔn)。另一個(gè)功能是內(nèi)置累加器,用于監(jiān)控用戶設(shè)定條件下的燃?xì)馐褂们闆r。
±(讀數(shù)的0.5%+滿量程的0.2%)精度
應(yīng)用和行業(yè)
泄漏測(cè)試
薄膜沉積
高純度氣體輸送
熱火焰噴涂
氣體混合
制藥工藝
Teledyne HFM-D-300A/B質(zhì)量流量計(jì)
范圍:/t0-5 sccm到0-25 slm(N 2)
準(zhǔn)確性:/t+(讀數(shù)的0.5%+滿量程的0.2%)
重復(fù)性:/t+ 0.15%的FS
*大工作壓力:/t500 PSIG(可選1000 PSIG)
安頓時(shí)間:/t通常<1秒
模擬I / O(標(biāo)準(zhǔn)):/t0 - 5 VDC
模擬I / O(可選):/t0 - 10 VDC,0 - 20毫安,4 - 20毫安
數(shù)字I / O(標(biāo)準(zhǔn)):/tRS-232,RS-485
模擬連接器:/t15針超小型D
數(shù)字連接器:/t雙RJ-12
電源要求:/t11 - 36 VDC 3.1瓦(*大值),單極或雙極(例如+ 15 VDC,+ 12 VDC)
接液材料:/t316L SS,鎳200,304 SS,302 SS
Teledyne HFC-D-302A/B控制器
范圍:/t0 - 5sccm至0 - 25 SLM(N 2 )
準(zhǔn)確性:/t+ (0.5%讀數(shù)+滿刻度的0.2%)
重復(fù)性:/t+ FS的0.15%
*大工作壓力:/t500 PSIG(可選1000 PSIG)
安頓時(shí)間:/t典型值<1 - 2秒
模擬I / O(標(biāo)準(zhǔn)):/t0 - 5 VDC
模擬I / O(可選):/t0 - 10 VDC,0 - 20毫安,4 - 20毫安
數(shù)字I / O(標(biāo)準(zhǔn)):/tRS-232,RS- 485
模擬連接器:/t15針微型d
數(shù)字連接器:/t雙RJ-12
電源要求:/t11 - 36 VDC 6.7瓦特(*大),單極性或雙極性(例如 + 15 VDC, + 12 VDC)
接液材料:/t316L SS,鎳200,302 SS,304 SS,的Kalrez(閥座)





