Gaertner Scientific Corporation
Gaertner stokes 微點橢偏儀LSE-MS
Gaertner stokes microspot ellipsometer LSE-MS
LSE-MS微點系統(tǒng)
與上面可選的LRS 6英寸線性x 360°旋轉(zhuǎn)平臺一起顯示
stokes微點橢圓儀LSE-MS描述
具有15微米的測量激光束直徑，手動XY千分尺定位臺和用于查看PC上測量區(qū)域的照相機。可以測量小至15 X 45微米的面積。該裝置簡單而堅固的設(shè)計提供了易用性和瞬時測量功能，是過度復雜的橢圓儀的受歡迎替代方案。
LSE-MS橢圓儀使用*的StokesMeter™技術(shù)（曾榮獲Photonics Spectra和R＆D 100新產(chǎn)品獎），它沒有運動部件，也沒有調(diào)制器，可以快速準確地確定入射角為70°的6328?激光測量光束的完整偏振態(tài)。激光光源具有足夠的光強度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的測量精度。激光源還具有光譜精確，穩(wěn)定和持久的優(yōu)勢。它們的使用可以在光學器件，檢測器和其他組件中實現(xiàn)的儀器設(shè)計，從而可以進行高度精確的測量。節(jié)省空間的設(shè)計占地面積小，但可容納300mm寬的大型樣品。
高速薄膜厚度測量系統(tǒng)可在不到一秒鐘的時間內(nèi)完成測量！
特征
gaertner橢偏儀測量程序LGEMP說明
LGEMP Windows軟件用途廣泛，可以測量單層膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑）以及已知的1、2或3層堆棧的頂層，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。單層有機膜是LSE模型的精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用。
“文件處理程序"可以保存和快速檢索常用的測量設(shè)置參數(shù)。可以將四個用戶定義的設(shè)置文件分配給一個步驟的“按即走"快捷按鈕，以快速訪問不同的測量設(shè)置。
LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允許對薄膜模型進行理論上的“假設(shè)"類型模擬；對電影模型有更深入的了解。頂層薄膜厚度T1（粉紅色線），折射率Nf1（紅線），吸收Kf1（棕線），Y（黃線）， D（綠線），左側(cè)帶有可移動滑塊，可迅速顯示變化的影響模型參數(shù)對薄膜折射率的分辨率和可測量性。淺綠色線是恒定膜折射率Nf1的線。白線是Autofix Nf1的區(qū)域，在該區(qū)域中無法輕松解析索引。
stokesmeter™技術(shù)的說明
這種*的設(shè)備無需移動部件，也不需要調(diào)制器，可以快速，準確地確定測量光束的完整偏振狀態(tài)。
上圖顯示了用于同時測量所有四個Stokes光參數(shù)的StokesMeter™光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個光電探測器表面，每個光電探測器表面均被部分光譜反射，并且每個光電探測器表面均產(chǎn)生與光電探測器的分數(shù)成比例的電信號。它吸收的輻射。第四光電探測器基本上吸收光，并檢測其余的光。這樣形成的四個輸出形成一個4x1信號矢量I，它與輸入斯托克斯矢量 S線性相關(guān)，即I = AS。所以，小號通過獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣 A必須是非奇異的，這要求前三個檢測器表面的入射平面都不同。對于給定的四個檢測器布置，可以通過校準來計算或確定A。
技術(shù)優(yōu)勢
簡單，緊湊的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開關(guān)，電動機和檢測器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。此外，消除了偏振器臂上的波片機構(gòu)，從而實現(xiàn)了快速，精確，無移動的橢圓偏振儀。
斯托克斯（Stokes）橢圓儀的一項杰出功能是對由于樣品不平整而導致的角射束偏差的微小變化進行了補償；這樣就可以在整個晶圓表面上進行快速，連續(xù)的測量，而無需暫停以校正聚焦和傾斜。。
LSE-MS斯托克斯橢圓儀非常精確和穩(wěn)定，在基本的復雜橢圓儀中是的價值。LSE-MS型橢偏儀附帶LGEMP Windows™軟件，USB電纜，XY樣品臺和參考晶圓。它通過2個USB 2.0端口連接到Windows™PC或筆記本電腦。
LSE-MS可以配備以下選項：
可選的線性旋轉(zhuǎn)樣品臺LRS 6英寸線性和360度旋轉(zhuǎn)樣品臺代替了標準樣品臺
可選的WIN 10便攜式PC，
帶有預裝的驅(qū)動程序以及軟件和安全電纜 可選的Stokes校準套件L118-KIT 使用4個Gaertner可追溯晶片加2美元玻璃（L118G-KIT）或 4個NIST可追溯晶片加玻璃$ 3.5 K 重新校準任何Stokes橢偏儀。L118N-KIT）。 中號OST用戶將 不需要橢偏儀校準。適用于具有極其嚴格的公差和法規(guī)遵從用戶的的半導體制造商。斯托克斯
橢圓儀LSE-MS規(guī)格
| 對準： | 使用計算機校準屏幕手動調(diào)整傾斜度和工作臺高度。 |
| 相機 | 在PC上顯示測量區(qū)域 |
| 入射角： | 70度 |
| 測量方法： | *的StokesMeter無需移動部件和調(diào)制器，只需4個固定式硅探測器，即可確定完整的測量光束偏振，因此測量是穩(wěn)定且精確的。 |
| 測量時間： | 實際上是瞬時的 |
| 測量激光： | 6328?HeNe氣體激光器，測量光束直徑為15 x 45 um |
| 對準激光： | 670nm激光二極管 |
| 樣品（晶圓）尺寸： | 接受300毫米寬X無限長度 |
| 階段： | XY手定位具有傾斜度和工作臺高度調(diào)節(jié)。 |
| 軟件： | 包括Windows™LGEMP 4層吸收程序。 |
| 所需計算機： | 具有2個USB 2.0端口（不包括）的Windows™臺式機或筆記本電腦。 |
| 膜厚范圍： | 基板上，1、2、3或4個已知子層上的0-60,000埃。 |
| 精度和重復性： | 在大多數(shù)測量范圍內(nèi)低于亞埃。 |
| 折光率： | 在大多數(shù)測量范圍內(nèi)為±0.0005。 |
| 功率： | 100V-240V，50-60Hz。1個 |
| 尺寸圖 | 高度：16.5寬度：27.5深度：16英寸
凈重：45磅。運輸重量：65磅。 |
| CDRH合規(guī)性： | 蓋特納（Gaertner）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求21CFR 1040，用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源（例如太陽燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。 |
| CE合規(guī)性： | 斯托克斯橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標志。 |
| 保證： | 1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運輸費用 |
