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THz-NeaSNOM 太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡

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THz-NeaSNOM太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡,30nm光學(xué)信號(hào)空間分辨率

詳細(xì)介紹

THz-NeaSNOM太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 -30nm光學(xué)信號(hào)空間分辨率

太赫茲波段的納米分辨散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微-譜儀系統(tǒng):

neaspec公司推出的第三代散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡neaSNOM,采用的高階解調(diào)背景壓縮技術(shù),有效 提取散射近場(chǎng)信號(hào),在獲得10nm空間分辨率的同時(shí)保持的信噪比,是目前世界上成熟的s-SNOM產(chǎn) 品。同時(shí)其贗外差干涉式探測(cè)技術(shù),能夠獲得對(duì)近場(chǎng)信號(hào)強(qiáng)度和相位的同步成像。

由于的全反射式光學(xué)聚焦和無二的雙光路設(shè)計(jì),neaSNOM是目前世界上一款可以應(yīng)用于太 赫茲波段的近場(chǎng)光學(xué)顯微成像和譜儀系統(tǒng)。全新推出的THz-neaSNOM必將成為廣大太赫茲科研工作者手中的 神兵利器。

對(duì)有機(jī)和無機(jī)材料同樣適用
。封閉式外罩設(shè)計(jì),減少氣流干擾。
。預(yù)先校準(zhǔn)的近場(chǎng)光路,近一步提高穩(wěn)定性
??焖俪上瘢⒁?0nm空間分辨率鑒別納米材料
。同步探測(cè)近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)強(qiáng)度、相位并成像
??蓪?duì)單層石墨烯,蛋白質(zhì)有效測(cè)量的高敏感度
。簡(jiǎn)單明了的光路說明和光源選擇指示,培訓(xùn)、操作簡(jiǎn)便

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

太赫茲(THz)光源波長(zhǎng)較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無法滿足對(duì)材料科學(xué)研究,尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究(例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成:源極,漏極,柵極)的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。

德國Neaspec公司與Fraunhofer IPM在Neaspec公司NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上,已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達(dá)到30nm的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

THz-NeaSNOM主要技術(shù)參數(shù)與特點(diǎn):

。優(yōu)于30nm的空間分辨率

。常用THz光范圍:0.1-3THz

。設(shè)計(jì)的寬波段拋面鏡

。THz研究可使用商業(yè)

散射型近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡原理視頻介紹:

HNeaSNOM 30nm空間分辨率

的背景信號(hào)壓制技術(shù):

s-SNOM技術(shù)相對(duì)于傳統(tǒng)SNOM更難實(shí)現(xiàn)的主要瓶頸在于,探測(cè)器通過自由光路接收散射信號(hào)時(shí),其接收到 的光學(xué)信號(hào)中99%以上是懸臂、樣品等區(qū)域散射的背景信號(hào),只有不到1%是來自于針尖與樣品之間的有效近 場(chǎng)信號(hào)。只有成功的將有效的近場(chǎng)信號(hào)提取出來,才能獲得可靠穩(wěn)定的近場(chǎng)光學(xué)測(cè)量結(jié)果。

neaSNOM通過其的高階信號(hào)解調(diào)技術(shù)結(jié)合干涉式探測(cè)方式,實(shí)現(xiàn)了對(duì)背景信號(hào)的有效壓制,獲得了對(duì) 散射近場(chǎng)信號(hào)高度可重復(fù)性、高信噪比的可靠測(cè)量。

在原理上,利用AFM探針的高頻振動(dòng),遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)信息在快速傅里葉變換后僅可獲得一階信號(hào);相對(duì)地,近場(chǎng)光學(xué)信息可以獲得一至四階不同的信號(hào)。通過探測(cè)器對(duì)高階信號(hào)的采集處理,從而實(shí)現(xiàn)從背景信號(hào)中對(duì)有效 近場(chǎng)信號(hào)的剝離。

neaSNOM擁有的heterodyne探測(cè)模塊,可以利用參考鏡進(jìn)一步對(duì)剝離的近場(chǎng)信號(hào)進(jìn)行調(diào)制,從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)其強(qiáng)度和相位的同時(shí)采集和成像。

更廣的波長(zhǎng)范圍和更高的分辨率
neaSNOM對(duì)晶體管場(chǎng)成像

與傳統(tǒng)SNOM技術(shù)受到分辨率極限的限制,而只能使用可見光或近紅外光源不同,neaSNOM將可用光源拓展到中紅外和太赫茲波段,并始終保持納米級(jí)分辨率,這決定于neaSNOM的分辨率只與散射源尺寸( AFM 針尖曲率半徑)有關(guān)這一技術(shù)特點(diǎn)。上圖為,neaSNOM采用波長(zhǎng)為10um的中紅外光源和118um的太赫 茲光源獲得的近場(chǎng)成像結(jié)果,其太赫茲成像的分辨率達(dá)到40nm,約為激發(fā)波長(zhǎng)的1/3000,充分證明了 neaSNOM的高分辨能力。

在中紅外和太赫茲波段的納米成像能力,使得neaSNOM具有對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行電學(xué),分子、晶格振動(dòng)等性質(zhì) 的探測(cè)能力,近一步拓展了近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)的應(yīng)用范圍,為更多學(xué)科提供了有利的表征手段。

更大的應(yīng)用拓展空間

得益于優(yōu)秀的雙光路設(shè)計(jì),neaSNOM在成像功能基礎(chǔ)上具有了更大的應(yīng)用拓展空間。利用預(yù)留的第二套可 用光路,neaSNOM可以實(shí)現(xiàn)對(duì)拉曼、熒光、光誘導(dǎo)和超快等領(lǐng)域的研究,部分研究成果已經(jīng)發(fā)表在國際期刊。

專業(yè)的模塊化設(shè)計(jì)

neaSNOM散射型近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡采用模塊化設(shè)計(jì),將可見光、近紅外、中紅外照明探測(cè)單元,nano-FTIR ,

透射模式等功能進(jìn)行封閉模塊化設(shè)計(jì),進(jìn)一步提高了整體光路的穩(wěn)定性,以及操作的簡(jiǎn)便性,便于使用者更 快掌握neaSNOM系統(tǒng)操作,獲得高質(zhì)量近場(chǎng)光學(xué)測(cè)結(jié)果。

用戶友好的軟件平臺(tái)

neaSNOM散射型近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的軟件平臺(tái)歷經(jīng)數(shù)代開發(fā)整合,已兼容于windows系統(tǒng)并有著優(yōu)秀的客戶體驗(yàn)。的軟件系統(tǒng)用戶友好,操作簡(jiǎn)單,為防止使用人員的誤操作,模塊化的設(shè)計(jì)體系保證了儀器更 高的安全性。


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