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2000度提拉法晶體生長(zhǎng)爐

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BYT-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶體生長(zhǎng)爐（采用感應(yīng)熔煉對(duì)金屬樣品熔化，額定溫度可達(dá)2100℃）

詳細(xì)介紹

BYT-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶體生長(zhǎng)爐（采用感應(yīng)熔煉對(duì)金屬樣品熔化，額定溫度可達(dá)2100℃）。此系統(tǒng)采用組成：高頻感應(yīng)加熱電源，高真空腔體，石墨坩堝和精密提拉機(jī)構(gòu)。

VIF真空感應(yīng)熔煉爐	型號(hào)			VIF-CZ
	額定熔煉重量（按鐵液計(jì)算）			1Kg
	額定加熱溫度			2100度
	高頻加熱電源		采用電源	高頻感應(yīng)電源
			振蕩頻率	30-80KHZ
			額定輸入功率	35KW
			加熱電流	12-70A
			冷卻水要求	≥0.2MPa ≥6L/分
			電源重量	35KG
			負(fù)載持續(xù)率	99%
			輸入電壓	三相380V 50或60HZ
			加熱方式	感應(yīng)加熱
	腔體內(nèi)直徑			500mm
	腔體真空度（分子泵機(jī)組）			< 8X10^-4Pa
	腔體充氣壓力			< 0.5MPa
	升壓率			<4Pa/小時(shí)
	斷偶保護(hù)和顯示			有
	過(guò)溫保護(hù)			有
	過(guò)流保護(hù)			有
	欠壓保護(hù)（水壓）			有
	控溫模式			智能PID
	控制精度			+/- 1~ 5 ℃（600度以上）
	溫度檢測(cè)方式			B型熱電偶和紅外測(cè)溫儀相結(jié)合。溫度超過(guò)1800度，熱電偶退出，用紅外測(cè)溫儀測(cè)溫。 B型熱電偶的測(cè)量范圍：0-1800℃ 紅外測(cè)溫儀的測(cè)量范圍：900-2300℃ 點(diǎn)擊查看視頻
	紅外測(cè)溫儀			美國(guó)進(jìn)口紅外測(cè)溫儀，特點(diǎn)1、響應(yīng)時(shí)間快、高精度； 2、可24小時(shí)實(shí)時(shí)連續(xù)在線測(cè)溫、安全、耐用； 3、激光瞄準(zhǔn)、穩(wěn)定性好、尤其適合測(cè)量高溫小目標(biāo)； 4、10毫秒的響應(yīng)時(shí)間和&±0.3%的重復(fù)性精度，保證滿足您進(jìn)行快速、*測(cè)溫的要求。
	觀察窗尺寸			Dia 90mm
	選購(gòu)			銅模石墨漏斗鉬攪拌桿鎢坩堝
	電動(dòng)攪拌裝置（選配）			該爐可以配攪拌裝置，可以勻速的對(duì)物料進(jìn)行攪拌，攪拌棒由一個(gè)調(diào)速電機(jī)帶動(dòng)、攪拌棒與爐體之間采用威爾遜或磁流體和波紋管密封，攪拌棒和電機(jī)在電動(dòng)動(dòng)絲桿的帶動(dòng)下可以上下自由滑動(dòng)，進(jìn)入坩堝和從坩堝里出來(lái)。
	提拉機(jī)構(gòu)			精密可旋轉(zhuǎn)（籽晶桿可旋轉(zhuǎn)）提拉機(jī)構(gòu)，提拉速度為0.1μm/s~2000μm/s 總行程：150mm （可根據(jù)客戶需要定制）轉(zhuǎn)速：0-40RPM 可快速手動(dòng)提拉
真空機(jī)組	機(jī)組輸入電壓			380V /220V
	波紋管			KF40X1000
	真空擋板閥			KF40
	前級(jí)機(jī)械泵FX-32			功率	1、2KW
				電壓	380V
				轉(zhuǎn)速	1450rpm
				進(jìn)氣口徑	KF40
				前機(jī)泵抽氣速率（L/S）	8
				極限壓強(qiáng)	4X10^-2Pa
	復(fù)合真空計(jì)			復(fù)合真空計(jì)型號(hào)	ZDF
				電源	220V 55W
				控制精度	&± 1%
				真空計(jì)測(cè)量范圍	10^-5-10⁵Pa
	二級(jí)泵為分子泵（方案一）	分子泵（可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）		分子泵型號(hào)	FJ620
				輸入電壓	220V
				分子泵進(jìn)氣口法蘭	DN160
				分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣）	600
				分子泵極限壓強(qiáng)（Pa)	6×10^-7
				冷卻方式	水冷
				冷卻水壓（MPa）	0.1-0.2
				冷卻水溫度	<25℃
				環(huán)境溫度	0~40℃
				建議啟動(dòng)壓強(qiáng)	<100Pa
	二級(jí)泵為擴(kuò)散泵（方案二）	擴(kuò)散泵可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa）		電壓	220V
				功率	1000W
				極限真空度（在無(wú)泄露時(shí)）	10E-5Pa
				進(jìn)氣接口	DN150
				出氣接口	DN40
				注入油量	0.3L
				抽氣速率（N2）	1000L/S
水冷機(jī)（選購(gòu)）				電源	220V 1、68KW
				額定揚(yáng)程	25M
				額定流量	16L/min
				水箱容量	15L
				制冷量	4420Kcal/h
				出入水口	Rp1/2’’
				機(jī)器尺寸	67X47X89(長(zhǎng)X寬X高)

注意事項(xiàng)

1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對(duì)氣壓）的低壓條件下使用；

2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa，

進(jìn)氣流量<200SCCM（200ml/min)

3、請(qǐng)您仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū)，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過(guò)程中請(qǐng)密切監(jiān)控并正確控制反

應(yīng)容器內(nèi)部壓力，否則，操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害

4、對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對(duì)樣品加熱，要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)

大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防不可預(yù)見(jiàn)的損失

如您需要定制，請(qǐng)聯(lián)系我公司工程師

設(shè)備特點(diǎn)

1、采用臥式爐體，側(cè)部開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。

2、可以50段程序控溫，控溫*，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。

3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長(zhǎng)。

4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。

5、安裝有紅外測(cè)溫儀，可以*的測(cè)量加熱套的溫度。

6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa

7、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。

8、采用IGBT電源，具有過(guò)溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。

12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長(zhǎng)。

結(jié)構(gòu)說(shuō)明

本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。

1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過(guò)40℃。爐蓋采用前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，爐蓋打開(kāi)方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。

2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。

3、溫控系統(tǒng)(選購(gòu)測(cè)溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測(cè)溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測(cè)溫儀，把紅外測(cè)溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過(guò)控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào)，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對(duì)爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。

供貨范圍

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	生產(chǎn)廠家	數(shù)量
1	爐體系統(tǒng)	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1 套
2	直聯(lián)泵	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1 臺(tái)
3	擴(kuò)散泵		1 臺(tái)
4	復(fù)合真空計(jì)	成都正華	1 臺(tái)
5	IGBT 電源	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1 套
6	匯流水管	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1 套
7	高真空閥門(mén)	川北科技	3 件
8	感應(yīng)線圈	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1 套
9	真空管路	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1 套
10	說(shuō)明書(shū)	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	2 套
11	紅外測(cè)溫儀	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1套
12	提拉機(jī)	南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司	1套