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行業(yè)產(chǎn)品

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Quantum Design China(Beijing)


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納米精度六軸位移臺-hexaCUBE

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2022-09-16 17:25:06瀏覽次數(shù):278次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:16條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

hexaCUBE位移臺是德國attocube公司生產(chǎn)的能夠提供六個維度高精度移動樣品的集成位移系統(tǒng)。產(chǎn)品在保證優(yōu)異位移精確度與穩(wěn)定性的同時真正實現(xiàn)樣品六個維度的自由移動,適用于大氣,高真空到超高真空環(huán)境,行程可達15mm。最小步50nm,最小傾角變化1μrad。產(chǎn)品十分適合為需要多維度高精度定位的實驗提供幫助。

詳細介紹

設備特點


+ 六維度自由移動

+ 厘米級行程,納米級精度的位置控制

+ 閉環(huán)位移器,機械穩(wěn)定性

+ 50 nm 線性移動精度,1 μrad 傾角精度

+ 特殊材質,兼容各種光學環(huán)境與超高真空環(huán)境

+ 軟件全自動操控


高穩(wěn)定性


行程1mm范圍,高度可重復性


行程1mm范圍,誤差小于50nm


小范圍內(nèi),誤差小于10nm



標準配件


AMC100位移控制器


+ 同時控制六個方向位移;

+ 結合attocube專門開發(fā)的

hexaCUBE控制軟件;

+ 兼容Labview;


基本參數(shù)


產(chǎn)品型號

hexaCUBE190

適用環(huán)境

1atm/HV/UHV

位移器尺寸

190×180×105 mm3

負載

700 g

中心孔距

26 mm

行程

線性x方向 ±15 mm

線性y方向 ±15 mm

線性z方向 ±20 mm

傾角x方向 +33/-19°

傾角y方向 ±21°

傾角z方向 ±19°

精度

線性x,y,z方向 50nm

傾角x,y,z方向 1μrad

材質

鋁,不銹鋼,塑料





應用軟件


+ 界面直觀

+ 六維度點對點控制

+ 布局合理

+ 精確控制




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