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行業(yè)產(chǎn)品

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光譜橢偏儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:呂先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-09-01 20:02:31瀏覽次數(shù):614次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:53條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:呂先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

通過(guò)橢偏參數(shù)、透射/反射等參數(shù)測(cè)量,實(shí)現(xiàn)各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學(xué)常數(shù)快速表征

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)


● 專業(yè)光譜橢偏解決方案


● 超高精度、快速無(wú)損測(cè)量


● 系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計(jì)


● 豐富的材料數(shù)據(jù)庫(kù)與算法模型庫(kù)


支持多功能靈活配置

系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊定制化配置


自動(dòng)變角模塊


自動(dòng)找焦模塊


Mapping測(cè)量模塊


微光斑測(cè)量模塊


二、應(yīng)用案例


三、系列產(chǎn)品


四、技術(shù)規(guī)格



型號(hào)

SE-VM

SE-L

SE-Mapping

SE-VE

自動(dòng)化程度

自動(dòng)變角

固定角+mapping

固定角

應(yīng)用定位

通用型

自動(dòng)型

檢測(cè)型

經(jīng)濟(jì)型

基本功能

Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

Psi/Delta、N/C/S、R等光譜

分析光譜

380-1000nm(支持?jǐn)U展至210-1650nm)

400-800nm

單次測(cè)量時(shí)間

0.5-5s

重復(fù)性測(cè)量精度

0.01nm

0.05nm

光斑大小

大光斑2-4mm,微光斑200μm/100um

大光斑2-4mm

折射率重復(fù)性精度

0.0005

0.0001

入射角范圍

45-90°(5°步進(jìn))

45-90°

65°

65°

入射角調(diào)節(jié)方式

手動(dòng)變角

自動(dòng)變角

固定角

固定角

找焦方式

手動(dòng)找焦

自動(dòng)找焦

手動(dòng)找焦

手動(dòng)找焦

Mapping行程

不支持

100*100mm(可選配)

300*300mm(可選配)

不支持

支持樣件尺寸

至180mm

至200mm

至300mm

至160mm

● 重復(fù)性精度指標(biāo)針對(duì)100nmSiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣件30次重復(fù)性測(cè)量;

● 有關(guān)Mapping型號(hào)命名與其行程尺寸有關(guān),并支持尺寸定制;

● 儀器具體技術(shù)參數(shù)需與實(shí)際功能模塊、配件有關(guān),表中數(shù)據(jù)僅供參考。





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