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日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-01-29 10:00:16瀏覽次數(shù)：456次

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產(chǎn)品簡介

日本HoribaS500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過程控制中在線實時的氣體流量的準確測量和控制

詳細介紹

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過程控制中在線實時的氣體流量的準確測量和控制。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實時地準確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量;不同于測壓力或測體積方法等類別流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測量電路信號實時反映氣流瞬時流量，并通過PID電路實時控制比例電磁閥而準確控制流量，所以特別適用于過程控制中在線實時的氣體流量的準確測量和控制。

S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點：

具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點。

耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴格的入廠標準。

可任意角度安裝。

電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合工作。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

項目	S500 (規(guī)格Type AR111)
外部密封	氟橡膠
接觸氣體材料	SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼
調(diào)節(jié)閥類型	非通電時常閉
滿量程流量(N2換算流量)	10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min
流量控制范圍	2%～99%F.S. (0.1～5V DC)
流量測量范圍	0～99%F.S. (0～5V DC)
響應(yīng)時間（輸出電壓）	1秒　(保證 1.5秒以內(nèi)T98)
工作環(huán)境溫度	5～45℃　(精度保證　15～35℃)
流量精度	±1.0%F.S
線性	±0.5%F.S.
重復(fù)性	±0.2%F.S.
工作壓差	10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d)
很大工作（使用）壓力	300kPa(G)
耐壓	3MPa(G)
泄漏率	1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下
流量設(shè)定信號	0.1～5VDC(2%～99%F.S.)
流量輸出信號	0～5VDC(0%～99%F.S.)
供電電源	+15V±5% 100mA以下－15V±5% 150mA以下
管路接頭	1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR
安裝角度	任意
電氣接頭	D-Sub　15pin
輸入輸出阻抗	輸入：1MΩ以上　　輸出：3mA以下
附加功能	Auto-zero、Auto-close