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泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI

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產(chǎn)品型號Talysurf CCI

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更新時間：2023-05-20 15:00:23瀏覽次數(shù)：698次

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產(chǎn)品簡介

泰勒Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。

詳細介紹

泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI簡介
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。

泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術(shù)參數(shù)
類型： CCI 干涉（相干相關(guān)干涉）
分辨率： 0.1 A
測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )

泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
  1. 相干相關(guān)算法
  2. 0.01nm分辨率
  3. 10-20秒測量時間
  4. RMS重復(fù)性：0.03A

關(guān)鍵詞：輪廓儀

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