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3D表面輪廓儀7100

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更新時(shí)間：2022-11-03 15:13:44瀏覽次數(shù)：399次

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產(chǎn)品簡介

3D表面輪廓儀7100

詳細(xì)介紹

　　NewView 7100白光干涉儀是高性價(jià)比非觸摸式外表輪廓儀。NewView 7100外表輪廓儀以其的精細(xì)度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的外表粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺度以及樣品的描摹。測(cè)量過程精細(xì)，高速，非觸摸，且樣品無需特別處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向測(cè)量規(guī)模能夠從小于1nm至20000μm，基于ZYGO的掃描技能。無論怎樣的外表描摹，擴(kuò)大倍數(shù)以及臺(tái)階特性，NewView 7100系列只需一次掃描即可到達(dá)0.1nm的縱向分辨率，并獲得一切的被測(cè)參數(shù)。

　　體系參數(shù):

　　◆原理:非觸摸、三維白光掃描干涉儀

　　◆掃描裝置:閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器,

　　◆視場(chǎng)擴(kuò)大倍率：高質(zhì)量分立擴(kuò)大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率:×,1.0×,1.5×,2.0×

　　◆成像擴(kuò)大:電動(dòng)3位體系成像擴(kuò)大

　　◆視場(chǎng):0.03-14mm，跟物鏡和擴(kuò)大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技能能夠得到更大規(guī)模

　　◆光源:均勻成像，高效率，特別設(shè)計(jì)長壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

　　◆操控:濾光板托架，視場(chǎng)光闌（輔佐聚集）

　　◆測(cè)量陣列:標(biāo)配640×480像素；可選更高分辨率992×992

　　◆樣件調(diào)查:專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)調(diào)查

　　◆精細(xì)聚集:電控手動(dòng)和自動(dòng)聚集

　　◆Z軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，200mm行程,0.1μm精度