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島津氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成和保養(yǎng)知識(shí)

2025-3-19  閱讀(20)

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  島津氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
 
  氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
 
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展:
 
  (1)便攜式:zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
 
  (2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
 
  (3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
 
  (4)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的島津氦質(zhì)譜檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
 
  (5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
 
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)
 
  (1)前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);
 
  (2)電磁閥組的超聲清洗;
 
  (3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。
 
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)芯的制造借鑒*技術(shù),整機(jī)設(shè)置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,反應(yīng)快,開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。

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