往復(fù)式真空泵（又稱活塞式真空泵）歸于低真空獲得設(shè)備，用以從內(nèi)部壓力等于或低于一個大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超越35oC.往復(fù)泵的極限壓力，單級為4×102~103Pa,雙級可達1Pa.它的排氣量較大，抽速規(guī)模15~5500L/S.往復(fù)泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結(jié)晶、真空過濾等方面抽除氣體。

　　往復(fù)式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀塵埃的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有塵埃，在泵的進口1處有必要加裝過濾器。往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)原理。往復(fù)泵的作業(yè)原理，所示。泵的主要部件是氣缸及在其間做往復(fù)直線運動的活寨活寨的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完結(jié)的。

　　泵運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，經(jīng)過曲柄連桿機構(gòu)的效果，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運動。當汪室在等舸內(nèi)從存端向右端話動時。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度削減，而形成抽氣進程，此刻容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥進入泵體左腔。

　　當活塞到達右方位時，氣缸內(nèi)就*充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此刻吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨著活塞從右向左運動而逐步被緊縮，當氣缸內(nèi)氣體的壓強到達或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完結(jié)一個作業(yè)循環(huán)。當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復(fù)前一循環(huán)，如此重復(fù)下去，直到被抽容內(nèi)的氣體壓力到達要求時為止。