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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
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品 牌
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所 在 地上海
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更新時間：2024-06-12 10:17:22瀏覽次數(shù)：148次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線3軸機(jī)械臂真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn)： |
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系列 |
雙手指結(jié)構(gòu)可以在真空腔室內(nèi)搬運(yùn)4kg以下的托盤 |
相比LVHR系列機(jī)械手臂具有較好的性價比優(yōu)勢 |
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置 |
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管 |
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級過濾器 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格 |
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 |
可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指 |
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空 |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 640mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 60mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 10kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們
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