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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


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硅基叉指電極微型探針臺(tái)

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更新時(shí)間:2024-05-03 08:55:30瀏覽次數(shù):181次

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產(chǎn)品簡介

微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu),它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測(cè)試、電子通訊、化學(xué)測(cè)試等多個(gè)領(lǐng)域。 一般來說,不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求,因此對(duì)于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對(duì)待。硅基叉指電極微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)。

詳細(xì)介紹

硅基叉指電極微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T  


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電化學(xué)傳感器通過與被測(cè)目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng),并產(chǎn)生與目標(biāo)分析物濃度成比例的電信號(hào)來工作。典型的電化學(xué)傳感器由傳感電極和反電極組成,并有一個(gè)薄電解層隔開。在環(huán)境監(jiān)測(cè)中,可以在電化學(xué)傳感器的電極之間生長可與目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)并發(fā)生阻值變化的捕獲物,通過檢測(cè)捕獲物的電阻值變化,實(shí)現(xiàn)檢測(cè)環(huán)境中大部分有毒有害生物化學(xué)物質(zhì)的目的。電化學(xué)傳感器通常具有操作簡單、儀器成本低等特點(diǎn)。除此之外,電化學(xué)傳感器可以與各種的微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)聯(lián)用,從而實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的批量生產(chǎn),并且可以實(shí)現(xiàn)小型化從而降低成本。
折疊編輯本段結(jié)構(gòu)
叉指電極結(jié)構(gòu)
        微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu),它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測(cè)試、電子通訊、化學(xué)測(cè)試等多個(gè)領(lǐng)域。 一般來說,不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求,因此對(duì)于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對(duì)待。如圖所示,列出了幾種常見的叉指電極結(jié)構(gòu),基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等,而每條叉指的形狀除簡單的矩形外,也可有圓形或矩形突起。在這里,我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測(cè)的具體要求,針對(duì)叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說明和終的結(jié)構(gòu)選擇,確定具體的設(shè)計(jì)參數(shù)根據(jù)微弱信號(hào)檢測(cè)的相關(guān)原理,在低頻信號(hào)測(cè)量時(shí),電阻值越高,其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高,不利于信號(hào)的提取和檢測(cè)[1]。所以,可以通過減少敏感膜電阻值的方法,實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體敏感傳感器的信號(hào)噪聲比的提高,從而減小噪聲對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。根據(jù)電阻的計(jì)算公式,影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長度及橫截面積等。一般情況下,氣體敏感材料薄膜的電阻率較高,因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長比。但是,敏感膜的厚度太大會(huì)降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時(shí)間。因此,綜合考慮到響應(yīng)時(shí)間和信噪比,需要設(shè)計(jì)優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長寬比。

硅基叉指電極微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T 參數(shù)  

真空腔體

類型

高溫型室溫到350

高低溫型 室溫到350  室溫到-196

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 1.5KG     鋁合金材質(zhì) 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測(cè)量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺(tái)尺寸

26x26mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺(tái)-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.5

樣品臺(tái)升溫速率

高溫100/min   低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號(hào)輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴(kuò)展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

20mm    ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái))

X軸控制精度

500μm

R軸移動(dòng)行程

120°    ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿)






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