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小型真空鎢舟熱蒸鍍儀

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更新時(shí)間：2024-05-03 08:47:11瀏覽次數(shù)：169次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動(dòng)樣品擋板，靶臺(tái)旋轉(zhuǎn)，觸摸屏多段控制，工藝儲(chǔ)存等功能。

詳細(xì)介紹

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動(dòng)樣品擋板，靶臺(tái)旋轉(zhuǎn)，觸摸屏多段控制，工藝儲(chǔ)存等功能。

正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程：

（1）加熱蒸發(fā)過程：包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程，每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。

（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運(yùn)輸，即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。

（3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā)，凝聚，成核，核生長，形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠(yuǎn)

低于基板溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源溫度，因此，氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過程。

編輯

以下是不同真空度不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

原樣品沒有鍍膜 115A 100秒機(jī)械泵

115A 100秒分子泵抽12分鐘 115A 120秒分子泵抽20分鐘

真空度越高越不易氧化越接近金屬本色

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型	鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟碳繩
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展	機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）