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桌面式磁控濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：陳先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-04-25 14:09:52瀏覽次數(shù)：240次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：582條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：陳先生 （銷售）

產(chǎn)品簡介

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD，外形小巧方便移動，觸摸屏控制工藝記憶儲存，自動電動擋板閥保護(hù)樣品，石英腔室更加潔凈方便清潔。

詳細(xì)介紹

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

*外形小巧方便移動

*觸摸屏控制，工藝記憶儲存方便鍍相同樣品

*自動化電動擋板，能自動打開關(guān)閉，保證鍍樣時(shí)間和保護(hù)樣品

*石英＋不銹鋼腔體，方便觀察和清洗

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桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  （可安裝φ50基底）

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa）

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口






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