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回轉PECVD BTF-1200C-R-PECVD 實驗室臭氧發(fā)生機

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更新時間:2023-06-05 09:39:21瀏覽次數:249次

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主要特點:本款設備可以做金屬復合石墨烯材料,是目前Z的金屬復合材料制備設備

要特點:

本款設備可以做金屬復合石墨烯材料,是目前Z的金屬復合材料制備設備??梢杂糜趧恿﹄姵兀嵘姵貎茸韬湍芰棵芏?,有效解決新能源汽車電池的問題。

1.該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

2.可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間。

3.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統,可以實現低壓條件下的實驗,針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區(qū),輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

技術參數:

型號

BTF-1200C-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

Z高溫度

1100

升溫速率

10/S

控溫精度

±1

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

爐管轉速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統

標配三路質量流量計(50/100/200sccm)(量程可選)

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設備凈重

約220KG


智能型雙溫區(qū)等離子化學氣相沉積系統(型號:BTF-1200C-II-A

主要特點:一、此設備的高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環(huán)負反饋控

三溫區(qū)智能型等離子體化學沉積系統(BTF-1200C-III-500A

主要特點:此款智能型等離子體增強化學沉積系統的高溫真空爐加熱腔體采用進

連續(xù)進出料等離子體增強回轉設備-BTF-1200C-RP-PECVD

主要特點該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD)

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