此擋板閥屬于生產(chǎn)的儀器一般采用手動(dòng)真空擋板閥與真空系統(tǒng)相連接，主要起到真空泵防回油和CVD系統(tǒng)中控制抽氣速率等作用。手動(dòng)擋板閥具有安裝方便、操作安全可靠、使用壽命長和密封效果好等特點(diǎn)。
手動(dòng)真空擋板閥的裝卸都采用卡箍，簡(jiǎn)單方便，可根據(jù)使用者需求任意擺放。
基本參數(shù)
型號(hào) | GD-J(25)B | GD-J(40)B | |
壓力范圍 | PA | 1*10-E-6Pa~1.2*10E-6Pa(波紋管密封) | |
公稱通徑 | Mm | 25 | 40 |
漏率 | Pa.L/s | ≤1.3*10E-7 | |
維修循環(huán)次數(shù) | 次 | 1000 000（波紋管密封） | |
600 000（氟膠圈密封） | |||
閥體烘烤溫度 | ℃ | ≤120℃ | |
開啟或關(guān)閉時(shí)間 | S | 手操時(shí)間 | |
閥門位置指數(shù) | —— | 機(jī)械指示 | |
安裝位置 | —— | 任意 | |
周圍環(huán)境溫度 | ℃ | 5~40 | |
注意事項(xiàng) | 不用時(shí)，請(qǐng)保持真空擋板閥清潔，并放在干燥室內(nèi)防止強(qiáng)烈震動(dòng)。 安裝前請(qǐng)將閥門和真空接觸的各個(gè)表面進(jìn)行清潔處理。 定期檢查，防止受潮、生銹和橡膠件老化。 | ||
環(huán)保在線