GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
技術參數(shù)
產(chǎn)品名稱 小型二通道混氣系統(tǒng)(質(zhì)子流量計)GSL-2Z-LCD-S 基本參數(shù) 工作溫度:5~45℃。 壓力:0.3MPa。 精度:±1.5% FS 重復精度:±0.2% F.S。 流量范圍: 一路:1-99 SCCM 二路:1-199 SCCM(其他流量范圍可定制) 注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用。 輸入電源 AC 220V,50/60Hz 功率 100W PLC觸摸屏 各通道的氣路設定和查看都集中在一觸摸屏上 混氣罐 內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣。 機械壓力表 有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接。 量程:-.01~0.12MPa 針閥 316不銹鋼 通氣管道 內(nèi)部連接管道為1/4" 不銹鋼管。 外部通氣管為1/4"聚四氟管。 外形尺寸 360L×300D×190H mm 產(chǎn)品重量 8.4Kg 質(zhì)量認證 CE認證 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,終生維護。 相關產(chǎn)品 CVD&PECVD管式爐 免責聲明 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包含產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術參數(shù)等)僅供參考。可能由于更新不及時和網(wǎng)站不可預知的BUG造成數(shù)據(jù)與實物的偏差,如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細信息,請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,怒不另外通知,請您見諒。