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小型二通道混氣系統(tǒng)(質(zhì)子流量計)GSL-2Z-LCD-S

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GSL-2Z-LCD-S

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時間:2022-02-24 11:32:59瀏覽次數(shù):204次

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GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制

GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。

技術參數(shù)

產(chǎn)品名稱

小型二通道混氣系統(tǒng)(質(zhì)子流量計)GSL-2Z-LCD-S

基本參數(shù)

工作溫度:5~45℃。

壓力:0.3MPa。

精度:±1.5% FS

重復精度:±0.2% F.S

流量范圍:

一路:1-99 SCCM

二路:1-199 SCCM(其他流量范圍可定制)

注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用。

輸入電源

AC 220V,50/60Hz

功率

100W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設定和查看都集中在一觸摸屏上


混氣罐

內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣。

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接。

量程:-.01~0.12MPa

針閥

316不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4" 不銹鋼管。

外部通氣管為1/4"聚四氟管。

外形尺寸

360L×300D×190H mm


產(chǎn)品重量

8.4Kg

質(zhì)量認證

CE認證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護。

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