名稱

1100℃三溫區(qū)電動開啟式管式爐（管徑8.5、11）OTF-1100X-XX-III

設(shè)備型號

OTF-1100X-8.5-III

OTF-1100X-11-III

高純石英管尺寸

216 OD×206 ID×1800mm L

279 OD×269 ID×1800mm L

加熱區(qū)

1000mm

電源

AC380,50Hz 三相電 功率：20KW

AC380,50Hz 三相電 功率：20KW

爐體結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃

設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵，設(shè)備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性）

高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

該爐可作為退火或擴(kuò)散爐，可用于8"晶片放在對應(yīng)石英舟中（圖三）

電動開啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡便（圖四）

圖一 圖二 圖三 圖四

基本參數(shù)

熱偶：K型熱偶 建議升溫速率：≤10℃/min

溫度：1000℃ （1100℃<1h） 電源：AC220，50HZ 功率：8KW

加熱元件

SiC棒（36根）

爐管

8.5英寸或11英寸高純石英爐管。

注意：石英管易碎，操作需謹(jǐn)慎。

為了獲得更高的工作溫度，可選用FeCrAl合金管，溫度可達(dá)1200℃

密封法蘭

一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?個硅膠密封圈，可是爐管內(nèi)真空度達(dá)到10∧-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）。

左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，φ6.35的進(jìn)氣口。

右端法蘭：KF40真空泵接口φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）。

溫控系統(tǒng)

控溫精度：±0.5℃

溫度校準(zhǔn)（可選）

定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括

一個1200mm的K型鎧裝熱偶。

48"L（1/4"OD）K型熱電偶校準(zhǔn)。

一Omega溫度校準(zhǔn)器。

你可以考慮分子泵，真空度可達(dá)10-5Torr。

外形尺寸

2210（L）×770(W)×1190(H) mm

凈重

約500Kg

真空系統(tǒng)

多種真空系統(tǒng)可選

可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可選

可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備

使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度＜1100℃。

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。

質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/ CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

質(zhì)保

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：

1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

免責(zé)聲明

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