OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐,專(zhuān)為生長(zhǎng)各種納米線而設(shè)計(jì),基片3英寸. 在法蘭的左側(cè)裝有一個(gè)小加熱器,可對(duì)輸入的氣體、液體、固體進(jìn)行預(yù)加熱,然后 進(jìn)入 CVD 爐進(jìn)行納米線的生長(zhǎng), 可滑動(dòng)的樣品架使操作更為簡(jiǎn)單。
技術(shù)參數(shù)
名稱(chēng) 生長(zhǎng)納米線的CVD爐 --OTF-1200X-4-NW 視頻 儀表操作視頻 工作溫度 CVD爐: 工作溫度:1100℃(<2hour) 連續(xù)工作溫度:200~1000℃ 升溫和降溫速率:10℃/min 小加熱器: 連續(xù)工作溫度:0~500℃ 升溫和降溫速度:10℃/min 加熱區(qū) CVD爐:400mm 小加熱器:150mm 爐子和預(yù)加熱器 緊湊型CVD爐是由OTF-1200X-4單溫爐演變而來(lái)。 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 石英管:4.33" OD×4.05"ID ×15" L 工作溫度:1100℃ 右邊帶樣品支架的法蘭是滑動(dòng)的,方便操作在加熱器和CVD爐之間的法蘭是預(yù)加熱氣體的通道,同時(shí)也起密封作用。 在爐子左側(cè)的小加熱器是對(duì)輸入CVD爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱。 1.2" OD×6"L SS作為加熱腔小加熱器工作溫度:600℃ 左邊法蘭具有密封性和氣體通道的作用。 溫度控制 CVD爐和加熱器 PID/自整定的數(shù)字控制,具有30段可控程序 熱偶:K type 控溫精度:±1℃ K型熱電偶 可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制,相關(guān)硬件和軟件如下(選配) 真空和密封法蘭 CVD爐:右法蘭: 水冷避免O型圈融化(水冷機(jī)可選配) KF25真空快接(可與真空泵、波紋管、真空閥等連接) 可滑動(dòng)使客戶操作更簡(jiǎn)單,樣品可快速送入和取出。 一個(gè)石英樣品支架(3"dia),與石英擋板滑動(dòng)法蘭連成一體。 左法蘭(在CVD爐和小加熱器之間),裝有4個(gè),1/4"卡套連接的通氣管。 法蘭上有兩個(gè)獨(dú)立1/4"口,可單獨(dú)將任何氣體通入CVD爐。 一路1/4"口將預(yù)熱氣體通入CVD爐。 一路1/4"口將不加熱的氣體通入CVD爐(在CVD爐內(nèi),通過(guò)“T"性結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。) 額定電壓 單相AC220V,50/60Hz。 額定功率 3KW(要求20A空開(kāi)) 外形尺寸 1200(L)×450(W)×510(H) mm 重量 100Kg 質(zhì)量認(rèn)證 質(zhì)保期 電器部分保修一年(耗材:爐管、O型圈、加熱元件等不包含在內(nèi))。
CE Certified