名稱

1200℃小型5英寸雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)爐-OTF-1200X-5-R-II

管式爐結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

采用高純氧化鋁作為爐膛材料，可以極大程度減少能量損失。

直流電機帶動石英管轉(zhuǎn)動，其轉(zhuǎn)速為0-10RPM。

爐體設(shè)計開啟式，以便于操作和對樣品進行快速冷卻。

工作電源

電壓：AC 220V 功率：2.5KW

加熱區(qū)

兩個溫區(qū)總長度：300mm（150mm+15mm）

工作溫度

連續(xù)工作溫度：1100℃。

工作溫度：1150℃（）

溫度控制

兩個溫區(qū)采用兩個溫控系統(tǒng)獨立控制，都采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序。

爐體上安裝有RS485接口，可選購控溫模快，采用電腦控制爐體升溫。

爐管參數(shù)

高純石英管，工作溫度：1200℃。

石英管尺寸：600 OD（兩端）×127 OD（中間）×1100 L mm。

內(nèi)部焊接有揚料板，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻。

密封法蘭

爐管包含一套密封法蘭，標(biāo)準(zhǔn)配置如下：

采用磁流體密封法蘭，保證爐管轉(zhuǎn)動時，法蘭前端的連接管不轉(zhuǎn)動。

進出料端采用快接法蘭，方便進行裝卸料

機械壓力表（范圍-0.1MPa~0.15MPa）。

不銹鋼針閥&1/4"軟管接頭，KF25真空接頭以及1/4"接頭。

真空度：4.5×10-2torr（用機械泵）

旋轉(zhuǎn)速度

0-10rpm可調(diào)

爐體傾斜角度

無傾斜功能，客戶可在爐體下方加墊爐磚達到傾斜效果。

產(chǎn)品尺寸

爐體：1440 L×430 W×480 H mm

電源箱：250 L×350 W×415 H mm

產(chǎn)品重量

30Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護。

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

應(yīng)用事項

通過容積式給料器可實現(xiàn)連續(xù)喂料。

采用該設(shè)備做CVD實驗時，可選購本公司的多路混氣系統(tǒng)進行氣體精確配比及流量控制。

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱的實驗，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

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