電子無塵車間
 
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
 
光學(xué)微電子凈化工程一般包括
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。 
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù)100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速10級(jí)、100級(jí)0.30.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。
溫度4565％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％30％；照度300LX。