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在半導體工業(yè)生產(chǎn)中，特別是化學機械拋光CMP的漿料輸送和分配，例如流動回路控制器，通常需要內(nèi)部空氣，這通常會在處理工具中呈現(xiàn)清潔問題，但是使用精密蠕動泵，漿料始終不會在管道內(nèi)受到污染。
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??精密蠕動泵適用于各種管尺寸，高科技管材和新型*泵頭設計可長時間長時間提供準確，可靠和可重復的連續(xù)流體傳輸。
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??多種泵管選項和各種高性能泵頭可滿足半導體生產(chǎn)的挑戰(zhàn)性要求，包括輸送鎢和氧化物漿液，去離子水和氫氧化銨。對于這些關(guān)鍵應用，是“當性能重要時"的理想選擇。
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