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琢銳匠儀科學儀器(上海)有限公司

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1200°開啟式真空氣氛管式爐(TF)系列

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更新時間:2022-07-14 16:50:22瀏覽次數(shù):254次

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【產(chǎn)品特點】 提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境 應用在半導體、納米技術、碳纖維等領域,使用溫度范圍 300~1200℃,溫度控制精度 1℃, 管徑506080100 氣路連接方式采用快速連接法蘭結構,...
1200°開啟式真空氣氛管式爐(TF)系列

產(chǎn)品特點


提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境
 
應用在半導體、納米技術、碳纖維等領域,使用溫度范圍   300~1200℃,溫度控制精度    ±1℃, 管徑φ50φ60φ80φ100
 
氣路連接方式采用快速連接法蘭結構,裝卸快捷方便,只需一個卡箍即可完成。
 
爐膛分為上下兩部分,上部分爐膛可后翻100°,方便取放及觀察物料。
 
爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上。
 
空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果。
 
啟動電爐,排溫風機同時自動運行,試驗結束后,排溫風機將繼續(xù)運行,
 
直至爐體溫度低于60℃,排溫風機自行停止,有效保護了爐體表面。
 
更多特點
 
爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性。
 
進口程序控溫系統(tǒng),4條曲線,可編程40段程序控溫,
 
觸摸屏為7寸大屏,內建50個配方、50個程序。
 
配方名稱用戶可自己設定,配方可任意增加、刪除、調取。
 
電路采用連續(xù)加熱輸出,雙回路供電,強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
 
加熱模塊采用直流信號調節(jié)輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾。
 
操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀
 
上下爐體采用航空插頭連接方式,連接安全可靠方便
 
氣路總成采用食品級316不銹鋼制成,具有耐蝕性,耐高溫強度好,無磁性
 
安全性
 
過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。

產(chǎn)品參數(shù)

 
型號單溫區(qū)TF12P50/TF12T50TF12P60/TF12T60TF12P80/TF12T80TF12P100/TF12T100
雙溫區(qū)TF12P50S/TF12T50STF12P60S/TF12T60STF12P80S/TF12T80STF12P100S/TF12T100S
性能使用溫度范圍300—1200℃
溫度分辨率1℃
控溫精度±1℃
升溫速率0-20℃/min
加熱區(qū)長度420mm
恒溫區(qū)長度單溫區(qū):210mm 雙溫區(qū):280mm
真空度﹣0.1MPa
空爐升溫時間≤15min
配置爐管時升溫速度500℃以下≤5℃/min;500-800≤10℃/min;800-1000≤5℃/min;1000-1200≤2℃/min
結構外裝冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
爐膛體多晶莫來石纖維
爐膛尺寸外:φ240*550mm內:φ120*420mm
爐管石英管
爐管尺寸φ50/43*1000φ60/53*1000φ80/72*1000φ100/92*1000
加熱器0Cr27Al7Mo2
加熱功率單溫區(qū):3KW 雙溫區(qū):3.2KW
斷熱層雙層強制風導流
打開方式掀蓋式后翻(約100度)
控制控制器P:進口程序控溫數(shù)碼顯示 T:7寸彩色觸摸屏程序控溫
控制方式使用微電腦PID控制/S型雙溫區(qū)單獨控溫
設定方式P:輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設定 T:手指觸摸輕點設定
顯示方式P:雙行LED數(shù)字顯示 T:彩色液晶屏顯示
定時0—999.9小時
運行功能定值運行、程序運行
程序模式P型:程序運行 4條曲線 共40步 T型:50步
傳感器K型熱電偶
附屬功能P型:校正功能T型:校正功能 實時曲線記錄,U盤數(shù)據(jù)導出
安全裝置過流漏電保護開關
常規(guī)外型尺寸(寬*深*高mm)1531*440*600
包裝尺寸(寬*深*高mm)1120*580*945
重量85kg
電源AC220V 50Hz
標準配置氣路總成一套(含真空表)、高溫手套1副、石英管1根、石英堵2個、石英舟2只、鉤子1把

1600℃真空氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

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