6"等離子清洗機EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對有機物和基片表面進行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預(yù)處理，此款設(shè)備極為理想。
技術(shù)參數(shù)
| 輸入 功率 | AC 110V , 50/60 Hz, < 200W |
| 輸出 頻率 | 13.56 MHz |
| 功 率 | ●低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W ●中檔720V DC 15 mA DC 10.5W ●上等740V DC 40 mA DC 30 W |
| 等離子腔體 | 尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體 |
| 真 空 泵 和 閥 | ●儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, ●泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭 |
| 通入的氣體 | 腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要 ，不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中 |
| 可選 配件 | ●如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片 ●數(shù)字式真空顯示計，可以**顯示石英腔體內(nèi)的真空度 |
| 外型 尺寸 | 11" H x 18" W x 9" D |
| 細節(jié)圖（點 擊 查 看 大 圖） |    |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保 ( 不包括石英腔體和密封圈) |
| 質(zhì)量 認證 |  CE Certified |
環(huán)保在線