產(chǎn)品名稱：滑桿式PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號： PECVD-12DZHVK 單溫區(qū)滑桿式PECVD系統(tǒng)
      PECVD-12DZDHVK 雙溫區(qū)滑桿式PECVD系統(tǒng)
      PECVD-12DZTHVK 三溫區(qū)滑桿式PECVD系統(tǒng)
     

 



PECVD系統(tǒng)應(yīng)用：

   PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).

   PECVD系統(tǒng)的中文名是等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。是在CVD的基礎(chǔ)上加一個射頻電源，這個射頻電源通過感應(yīng)線圈使管式爐爐管內(nèi)氣體形成等離子體，等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，從而在基片上沉積出所期望的固態(tài)沉積物。PECVD具有比普通CVD沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高、沉積所需的溫度低等優(yōu)點(diǎn)。PECVD是由CVD系統(tǒng)再加一個PE500射頻電源、線圈組成

PECVD系統(tǒng)組成：

PECVD系統(tǒng)=等離子電源+管式爐+真空抽氣系統(tǒng)+多路供氣系統(tǒng)（或者液態(tài)蒸發(fā)系統(tǒng)）

滑桿式CVD系統(tǒng)配置選擇：

配置一：滑桿式管式真空氣氛爐：

HSK2-12DZ 滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：50、60、80、100mm

HSK2-12DZD 雙溫區(qū)滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm

HSK2-12DZT 三溫區(qū)滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm

LVSE-0.1低真空控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)為一組低真空機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于1Pa一下；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

設(shè)備組成：設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計(jì)、真空波紋管、支架、真空泵組成

技術(shù)參數(shù)：

1、 真空泵：FX-16

2、 真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）

3、 真空泵極限壓強(qiáng)：（Pa）≤4*10^-2

4、 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥

5、 真空波紋管：KF25*1000mm

6、 真空計(jì)VRD-I:規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

7、 電源功率：220v/50Hz；0.8kw

8、 出氣進(jìn)氣口規(guī)格：KF25

9、 連接口：2個KF25接口

產(chǎn)品應(yīng)用：
   該系統(tǒng)為一組低真空恒壓機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

設(shè)備組成：設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計(jì)、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動調(diào)節(jié)閥門等組成；

技術(shù)參數(shù)：

1、 真空泵：FX-16

2、 真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）

3、 真空泵極限壓強(qiáng)：（Pa）≤4*10^-2

4、 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥

5、 真空波紋管：KF25*1000mm

6、 真空計(jì)：VRD-I:

7、 規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

8、 電源功率：220v/50Hz；0.8kw

9、 調(diào)速變頻器：0.75kw

10、      壓強(qiáng)控制范圍：1.0KPa—100KPa

11、      壓強(qiáng)控制精度：±1KPa

12、      出氣進(jìn)氣口規(guī)格：KF25

13、      連接口：2個KF25接口

HVSE高真空控制系統(tǒng):

產(chǎn)品應(yīng)用：
   該系統(tǒng)為一組復(fù)合分子泵、前級抽氣泵機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于8*10^-4Pa；配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設(shè)備使用；廣泛應(yīng)用于表面分析、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究

設(shè)備組成：設(shè)備由復(fù)合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計(jì)）、控制電源組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

預(yù)抽氣旁路設(shè)計(jì)，前級抽氣不經(jīng)過分子泵避免預(yù)抽氣體中顆粒進(jìn)入分子泵

技術(shù)參數(shù)：

1、 前級真空泵：TRP-24

2、 真空泵抽氣速度：4L/s

3、 分子泵：FJ-620

4、 抽氣速率：600L/s

5、 分子泵極限壓強(qiáng)：6*10^-6Pa

6、 建議啟動壓強(qiáng)：＜100Pa

7、 排氣口法蘭：KF40

8、 進(jìn)氣口法蘭：DN160LF

9、 波紋管：KF40*1000mm

10、      復(fù)合真空計(jì)：ZDF-III

11、      真空電磁擋板閥：KF40

12、      真空腔體真空度：＜8*10^-4Pa

13、      工作電壓：220v/50Hz

配置三：多路供氣系統(tǒng)：

ZDS-X多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)

系統(tǒng)應(yīng)用：
  ZDS-X多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

設(shè)備組成：多路進(jìn)氣管路、質(zhì)子流量計(jì)、混氣罐、出氣管路組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、 幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接

2、 液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實(shí)時查看各路氣體流量曲線

3、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術(shù)參數(shù)：

1、 氣體通路：X條客戶自由定制

2、 氣體類型：客戶自由選擇

3、 流量計(jì)量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇

4、 工作電壓：220v/50Hz

5、 工作壓差：0.1-0.5MPa

6、 壓力：3MPa

7、 準(zhǔn)確度：±1.0%F.S

8、 質(zhì)子流量計(jì)相應(yīng)時間：＜1S

9、 測量范圍：0.1-0.15MPa

10、      混氣罐：304不銹鋼

11、      進(jìn)出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口

12、      管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管

13、      控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨(dú)立控制

FDS-X多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)

系統(tǒng)應(yīng)用：
   FDS-X多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

設(shè)備組成：多路進(jìn)氣管路、浮子流量計(jì)、混氣罐、出氣管路組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、 幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接

2、 手動調(diào)節(jié)浮子流量計(jì)，方便快接

3、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術(shù)參數(shù)：

1、 氣體通路：X條客戶自由定制

2、 氣體類型：客戶自由選擇

3、 流量計(jì)量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇

4、 壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格

5、 混氣罐：304不銹鋼

6、 進(jìn)出氣接口：直徑6mm

7、 管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管

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配置四：等離子電源

1.型號：PE-500

2.噪音：<>

3.冷卻：風(fēng)冷

4.反向功率：200W

5.電源：208-240VAC，50/60Hz

6.輸出功率：5-300W 可調(diào)穩(wěn)定性±1%

7.射頻電源頻率：13.56MHz ±0.005%

8.射頻電源電子輸出端口：50Ω，N型半導(dǎo)體，陰極