日立掃描電子顯微鏡（SU3800）沿用了已 經(jīng)經(jīng)過驗證的GU I界面。另外還搭 載了*的SEM MAP, 而且相機導(dǎo)航系統(tǒng)提供超大視野導(dǎo)航，為操作人員提供更加貼心順暢的操作體驗。

配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種 配件。而且也適用于直徑 20 0 m m {SU3 800 )、可升級為直徑30 0 m m {SU 390 0)的大型樣品。

全更換樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品。

自動調(diào)整

通過自動啟動功能和自動光軸調(diào)節(jié)功能， 可以快速觀察。

廣角相機導(dǎo)航x

廣角相機導(dǎo)航覆蓋了大觀測區(qū)的整個區(qū)域。

SEM MAP

您可以順利找到目標觀察物。

分析解決方案

除了—體化集成 EDS 功能氣以外，還可與其他設(shè)備和軟件聯(lián)用。

Report Creator

可以將SEM /EDS/ SEM MAP 圖像統(tǒng)一任意布局，根據(jù)需求個性化輸出報告。

超多選配項

標配超大多功能樣品 倉?？芍С?/span>In -Si t u 分析。

· 通過鼠標操作，可實現(xiàn)直觀的視野移動

通過點擊或拖拽實時圖像上的任意位詈，即可移動視野?？扇Χ▽崟r圖像上的任一位置，被圈定的位置可移動到視野并放大。

· 簡單操作，如同觸屏般直觀

· 從移動樣品臺到樣品觀察 ，輕輕點擊鼠標即可實現(xiàn)。

· 也可觸屏操作。

· 主窗口為1,280x960 像素的大窗口。

· 可以切換顯示模式 ，并且同時顯示／拍攝兩種不同的信號。

· 自動軸距調(diào)整功能

光軸調(diào)整以及更換燈絲之后所需 實施的各種調(diào)整工作已經(jīng)實現(xiàn)了 自動化。由此能夠抑制光軸和視野的偏差，從而再也無需依靠操作人員的技能如何，都可以重現(xiàn)性較好地獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。

配備了電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的自動調(diào)整功能。放入樣品并抽真空之后，通過自動啟動功能可以實現(xiàn)圖像自動調(diào)整，并在電子束照射后立即獲取清晰的圖像。

高度自動化功能采用全新設(shè)計的演算程序，在執(zhí)行圖 像自動調(diào)整功能時，等待時間縮短到以往的1/3以下。不需要繁瑣的畫像調(diào)整，可輕松獲得高通量的圖像數(shù)據(jù)。

搭載Intel ligent Filament Technology(IFT)

· 自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動控制，使其一直處于合適的性能狀態(tài)。

· 搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏 。

通過該功能，使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實現(xiàn)。

擴展了真空模式和檢測功能，以滿足多樣化的觀察需求。除了可以安裝二次電子探測器，以及在任何真空模式下都可操作的高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器之外，還可以安裝 UVD?？梢垣@得樣品凹凸信息以及通過電子束照射產(chǎn)生的陰極熒光(CL信息）。

通過采用4分割+l單元的設(shè)計，對每個單元進行計算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。探測器的設(shè)計十分精巧，且靈敏度高，實現(xiàn)了高分辨率和高信噪比 。

紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品 倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機，可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細的位置，可放大CCD圖 像，并且移動觀察位置。

Zigzag功能可以自動獲取連續(xù)的視野。MultiZigzag 可以在樣品臺的多個區(qū)域設(shè)定Zigzag,在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像，并能夠使用Viewer功能來拼接拍攝的圖像從而創(chuàng)建大視野圖像。

與GUI 聯(lián)合的SEM MAP實現(xiàn)了廣角相機導(dǎo)航米。 在SEM MAP上觀察目標位置 ，可以順利地移動到位置上。使用大視野相機導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM 圖像。

相機導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域127mm/直徑200mm , 并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動，移動到大型樣品的大觀察區(qū)域。

Hitachimap 3D可對SU3800的5分割背散射電子探測器當中的 4個不同方向的SEM信號進行演算分析 ，生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易 表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量?？梢淮涡越邮账膫€不同方向的信號 ，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。

日立掃描電子顯微鏡（SU3800）使用案例（電子產(chǎn)品）：