超聲波濕式清洗技術(shù)的優(yōu)點顯而易見:清洗工序成熟, 產(chǎn)生了相關(guān)技術(shù)手冊, 適合工業(yè)生產(chǎn);對于清洗死角, 傳統(tǒng)清洗效率僅有60%~70%, 高壓水射流清洗也低于90%, 而濕式清洗效率高達98%;超聲波濕式清洗技術(shù)應(yīng)用廣泛, 從事研究人員眾多, 加快了它的發(fā)展。同時超聲波濕式清洗的劣勢也很明顯:使用的化學清洗劑滲透能力有限, 清洗不*;工業(yè)生產(chǎn)通常要數(shù)臺不同頻率的清洗機聯(lián)合, 增加成本;設(shè)備功率選擇過低不產(chǎn)生空化泡, 過高則容易發(fā)生空化腐蝕損壞清洗件;高精密清洗只能用高頻甚至兆頻超聲波清洗, 能耗大不環(huán)保。超聲波干式清洗技術(shù)解決了這方面的問題:不需要另加清洗劑, 綠色環(huán)保;清洗無附加風干設(shè)備, 降低成本;清洗頭性能持久, 維護成本低;非接觸式清洗, 被清洗件免受損害;對于1um以上的塵粒去除率接近99%;電子工業(yè)中, 無二次污染, 滿足超精密度清洗要求。缺點就是目前國內(nèi)只實現(xiàn)了超聲波干式清洗機的“半國產(chǎn)化", 超聲波干式清洗頭制造的核心技術(shù)仍然被日韓、歐美等發(fā)達國家限制。