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北京杜克泰克科技有限公司
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更新時間：2024-03-13 20:04:07瀏覽次數(shù)：248次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。
AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測系統(tǒng) 阿瑞斯-µVOC
概述：
醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物 。
空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。
無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。
檢測限達到sub-ppb級
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。
空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工
隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。
污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產(chǎn)化學藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。
阿瑞斯-µVOC系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。
工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。
亮點：
在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測
獨立分開測量有機物成份
Sub-ppb檢測限
集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
技術(shù)參數(shù)：
特性 | ||
工作原理: | 氣相色譜 | |
測量量程: | 0-200ppb | |
準確度： | 2% | |
尺寸 (HxWxD)： | 160 cm x 60 cm x 80 cm | |
防護等級： | Nema 12 或IP54不銹鋼外殼 | |
工作溫度: | 10°C—35 °C | |
通訊: | RS-232, Ethernet, ODBC | |
電源: | 230 Vac, 50/60 Hz 900W | |
供氣要求: | CDA 5 l/min H2 130 sccm (可選H2發(fā)生器) | |
采樣通道: | 高達16 | |
分辨率： | 0.1ppb | |
測量組分： | 高達30, 客戶可定制 | |
可測組分 | ||
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH | （t-乙酸丁脂）二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH | |
2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH | 六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3 | |
異丙醇 （CH3）2CHOH | 二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH | |
乙醇胺 H2NCH2CH2OH | 鄰苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2 | |
環(huán)己胺 C6H11NH2 | 鄰苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2 | |
環(huán)聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n | 鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2 | |
對二氯苯 ClC6H4Cl | 三乙胺（C2H5）3N | |
鄰苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2 | 鄰苯二甲酸二環(huán)己酯 C6H4(C=OOC6H11)2 | |
鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 | 磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O | |
十甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5 | 十二甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6 | |
二甲苯 (CH3)2C6H4 | 三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O | |
三甲基硅醇 C3H10OSi | 三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O | |
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