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GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

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真空鍍膜

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伊特克斯惰性氣體系統(tǒng)（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡介

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

詳細(xì)介紹

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟，且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

功能特點(diǎn)

真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。
采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級(jí)機(jī)械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個(gè)CF150閘板, 閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，4個(gè)備用，便于,安裝其他設(shè)備）。
在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動(dòng)擋板，有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。
樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。
腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀，精度為10?。
可使用循環(huán)水冷機(jī)。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥。
工作臺(tái)	落地式，占地面積2m2以上
通風(fēng)裝置	需要
輸入	單相AC220V，50Hz/60Hz，功率
蒸發(fā)輸出	電壓AC0-8V連續(xù)可調(diào)，蒸發(fā)電流200A，蒸發(fā)功率
真空腔	?300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理
腔門	?200mm
觀察窗	?95mm，采用專用密封圈密封
真空泵	高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s
真空度	5.0×10-6torr（泵開啟40min后）
極限真空度	5.0×10-7torr（加熱溫度為100℃-150℃）
漏率	5.0×10-7Pa/s
樣品臺(tái)	?140mm
蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距	260mm
冷卻水需量	15L/min
尺寸	650mm×1200mm×1600mm
重量	600kg

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關(guān)鍵詞：電池測(cè)厚儀減壓閥工作臺(tái)