- 基板尺寸:大尺寸基板1300mmX900mm(可選500mmX400mm適用于科研的小尺寸)
- 高放大倍數(shù)金相顯微鏡:EP.10~20X, Zoom.1~2X, OB.2X, 10X, 20X, 50X...
- 顯微鏡Z軸線性氣動移動行程:0~30mm
- 顯微鏡X-Y方向移動行程:25mmX25mm
- 左右各兩個放置針座臺面
- 防震裝置
- 卡盤快速拉出裝置
- 顯微鏡傾仰裝置
- 射頻測試探頭/電纜
- 有源探頭
- 低電流/電容測試
- 高壓測試
- 激光修復
- CCD/數(shù)字相機,USB接口
- 探針卡/封裝/PCB板夾具
- 加熱裝置
- 防震桌
- 屏蔽箱
- 顯微鏡暗場/Normarski 檢測