特征：
尺寸小型化
輕量化
低成本方案
電學、光學領域應用
發(fā)光二極管、激光二極管、PD的光強度和波長測量
射頻探測
適用于大學、實驗室
4英寸以下晶圓的理想選擇
側面調節(jié)吸盤
無回差調節(jié)
規(guī)格：
真空吸盤材質：4英寸不銹鋼 （平整度 ± 10µm）
吸盤調節(jié)行程：3英寸X 3英寸（精度10 µm）
吸盤調節(jié)角度：0~30度
吸盤：三條真空線槽對應不同尺寸樣品
樣品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
臺板：可容納最多6個探針座
需求：
電力需求：220V 50Hz交流電
真空泵：真空壓強-250毫米汞柱（約-33.3KPa）
尺寸：
320mm寬X 320mm長X 400mm高（包括顯微鏡）
凈重 20Kg，包括顯微鏡
附件
吸盤推向位置（chuck stage push to position）
真空控制的吸盤調節(jié)系統(tǒng)
顯微鏡傾斜機構以及準確位置快速轉換機構
光強度/波長測量適配器
射頻探針/電纜
有源探針
低電流/低電容探針
高壓探針
超聲波切割機（cutter）
視頻監(jiān)控
顯微攝影
封裝器件夾具
PCB夾具
液晶套件
防振桌面
屏蔽箱
測試工作臺
帶腳輪的設備箱
吸盤真空圖樣（Pattern）
鍍金吸盤
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