MTM-20 高分辨膜厚測控儀

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更新時間：2021-07-29 14:54:23瀏覽次數(shù)：213次

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廣州競贏化工科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

高分辨率膜厚測控儀的原理是：石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化

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高分辨率膜厚測控儀的原理是：石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性，可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化，以計算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過已知的膜密度和面積，而最終精確計算出所沉積膜的厚度。

性能參數(shù)：

膜厚范圍:	0.0 - 999.9nm
分辨率:	0.1nm
密度范圍:	0.50 - 30.00g/cm³
修正因a","sans-serif";mso-bidi-font-family:宋體;mso-font-kerning: 0pt;mso-bidi-font-weight:bold">:	0.25 - 8.0
存儲功能:	可存儲4組密度和修正因子數(shù)據(jù)
鍍膜控制:	可根據(jù)所設定的膜厚要求自動終止鍍膜過程