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DVIA-U模塊化主動(dòng)隔振平臺(tái)

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DVIA-U模塊化主動(dòng)隔振平臺(tái)

詳細(xì)介紹

DVIA-U模塊化主動(dòng)隔振平臺(tái)

DVIA-U系列
主動(dòng)隔振底座和桌面平臺(tái)

經(jīng)濟(jì)有效
DIVA-UB，主動(dòng)隔振基座平臺(tái)設(shè)計(jì)用于以有效的方式將掃描電子顯微鏡與地面振動(dòng)隔離。

符合人體工程學(xué)的辦公桌服務(wù)各種應(yīng)用

DIVA-UD主動(dòng)隔振臺(tái)平臺(tái)設(shè)計(jì)用于將超精密儀器與低頻振動(dòng)隔離。人體工程學(xué)設(shè)計(jì)使用戶可以舒適地執(zhí)行要求的應(yīng)用。另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。

沒有空氣

DVIA-U系列不需要?dú)庠磥聿僮飨到y(tǒng)。隔離器單元中的強(qiáng)力金屬?gòu)椈刹粌H支撐重型有效載荷，還為高頻振動(dòng)提供出色的被動(dòng)隔振。

具有高分辨率的納米成像

如上圖所示，如果用戶由于振動(dòng)而遇到模糊的圖像，則需要使用帶有DVIA-UB的SEM來獲得高分辨率的圖像。

克服了被動(dòng)隔振系統(tǒng)的局限性

由于主動(dòng)隔振系統(tǒng)不具備固有頻率，因此主動(dòng)隔振系統(tǒng)可以降低1-10 Hz的低頻振動(dòng)，其中低頻振動(dòng)會(huì)嚴(yán)重干擾納米級(jí)成像。另一方面，無源隔離系統(tǒng)由于其固有頻率而放大低頻振動(dòng)。

控制亞赫茲振動(dòng)
DVIA-U非常有效地將超精密儀器與1-10 Hz的環(huán)境振動(dòng)隔離，振動(dòng)敏感的精密儀器趨向于不穩(wěn)定和破壞性，無法產(chǎn)生結(jié)果。 DVIA-U在0.6 Hz時(shí)開始隔離，在10 Hz時(shí)提供±99％的振動(dòng)隔離。

反饋和前饋算法

DVIA-MB使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測(cè)干擾隔離有效負(fù)載基座的振動(dòng)，并即時(shí)作出反應(yīng)，以實(shí)時(shí)最小化振動(dòng)。 DVIA-MB采用前饋系統(tǒng)，以預(yù)定義的方式濾除地面振動(dòng)。

控制所有六個(gè)自由度的振動(dòng)

安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個(gè)平移運(yùn)動(dòng)（X，Y和Z）以及三個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）來檢測(cè)和控制振動(dòng)。

每個(gè)安裝地點(diǎn)都有不同的振動(dòng)級(jí)別，表明每個(gè)安裝地點(diǎn)都需要調(diào)整。因此，我們提供現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng)，這是控制1-10 Hz范圍振動(dòng)的關(guān)鍵因素。沒有調(diào)整，主動(dòng)隔離系統(tǒng)不能提供的主動(dòng)隔離性能。

應(yīng)用領(lǐng)域

掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、特高壓掃描隧道顯微鏡、干涉、其他高精度儀器