結(jié)合了十多年的包裝光學(xué)特性專門知識(shí)，CONTESSP大型面板計(jì)量系統(tǒng)使高密度互連PCB(HDI-PCB)基板的測(cè)量吞吐量比上一代WLI儀器提高了一倍以上。該系統(tǒng)專門設(shè)計(jì)用于測(cè)量制造過(guò)程中PCB面板的每一層，并包含了一系列*的功能，為半導(dǎo)體封裝行業(yè)提供了*大的生產(chǎn)性能、方便、可靠性和吞吐量。具有量規(guī)能力的Confee SP使用了一個(gè)直觀的生產(chǎn)界面，提供了快速和簡(jiǎn)單的基準(zhǔn)對(duì)齊與可配置的用戶輸入。

不匹配精度

憑借其新的耐振系統(tǒng)設(shè)計(jì)和磚利的Wyko垂直掃描干涉術(shù)(VSI)成像，具有量規(guī)能力的Contracesp系統(tǒng)以納米分辨率執(zhí)行極其**的三維臨界尺寸(CD)測(cè)量。這種能力，加上廣泛的自動(dòng)化，使ContracesSP多任務(wù)，既是一個(gè)強(qiáng)大的表面紋理計(jì)量?jī)x器，以及一個(gè)易于使用的缺陷檢測(cè)工具。

流線型操作與分析

Confee SP直觀的生產(chǎn)界面提供了快速和簡(jiǎn)單的基準(zhǔn)對(duì)齊與可配置的用戶輸入。除了傳遞/失敗信息之外，用戶現(xiàn)在還可以選擇詳細(xì)的參數(shù)結(jié)果，以便在摘要屏幕上顯示。Vision 64軟件為工程師、技術(shù)人員和操作人員提供了*的訪問(wèn)控制，具有簡(jiǎn)單的協(xié)調(diào)文件導(dǎo)入功能，保證了系統(tǒng)到系統(tǒng)的配方可移植性和快速文件創(chuàng)建。

適合面板計(jì)量的大面積可測(cè)量區(qū)域

該系統(tǒng)利用Bruker**性的基于龍門的設(shè)計(jì)和集成工作站，以高度緊湊的足跡支持多達(dá)600x600毫米的樣本。專門為生產(chǎn)面板計(jì)量設(shè)計(jì)的軟件幫助制造工程師和操作員充分利用*的光學(xué)剖面特征，包括動(dòng)態(tài)信號(hào)分割、重測(cè)量功能、地形掃描以補(bǔ)償晶圓弓、坐標(biāo)文件導(dǎo)入、ESD、面板ID讀取和模式識(shí)別。