公司介紹：

NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學配件的研發(fā)與銷售經(jīng)驗。在范圍內(nèi)，通過與眾多來自同步輻射科學，阿秒科學，高強度物理學等領(lǐng)域的科學研究者開展緊密合作，積累了大量*的設(shè)計與制造技術(shù)，其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率，高聚光效率等特點，適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外，分辨率測試卡被當作業(yè)界的標準。不只是學術(shù)研究，在X射線的檢查裝置開發(fā)現(xiàn)場也被廣泛使用。XUV鏡片，XUV濾波片不僅對阿秒科學有著幫助，對下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領(lǐng)域給予客戶在研發(fā)上的幫助。

產(chǎn)品介紹：

· 反射型。

· 可提供圖案：線寬和縫寬80 nm以下。其他圖案還在研發(fā)中。

· 線上可以加工“缺口"，線之間可以加工“橋接"用于標記。

· 由于設(shè)計靈活，所以性能更高，成本也更低。

· 正在開發(fā)50 nm及以下的線縫和縫寬圖案。在有限條件下，可以提供圖案分辨率樣本。