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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>納米壓印光刻系統(tǒng)>> EVG 6200NT（NIL）納米壓印系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 6200NT（NIL）是一款基于EVG620NT光刻機的紫外納米壓印設(shè)備，基于Smart NIL掩膜對準(zhǔn)技術(shù)
主要特點及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·分辨率可達40nm（取決于模版和工藝條件）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能：
鍵合對準(zhǔn)
紅外對準(zhǔn)
SmartNIL
微接觸印刷
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