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閱讀：73發(fā)布時(shí)間：2023-8-31
一般來說，儀器越靈敏，初始投資越高，維護(hù)成本越高。如果激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器在顆粒濃度高的環(huán)境中使用，可能需要技術(shù)服務(wù)人員經(jīng)常清洗。
當(dāng)有多個(gè)顆粒同時(shí)出現(xiàn)在光敏區(qū)時(shí)，光電器件所接收的信號(hào)是所有顆粒散射光的總和，這樣儀器顯示的測(cè)量結(jié)果即為一顆較大粒徑的粒子，顯示的結(jié)果比實(shí)際數(shù)量要少。塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光敏區(qū)越大，在光敏區(qū)同時(shí)出現(xiàn)兩個(gè)甚至兩個(gè)以上粒子的可能性就越大。而氣體中粒子濃度越高，光敏區(qū)同時(shí)出現(xiàn)兩個(gè)以上粒子的可能性也越大。重合誤差的大小直接影響儀器所給出測(cè)量值的準(zhǔn)確程度。
而由于種種條件的限制，我國(guó)現(xiàn)有的校準(zhǔn)規(guī)范中并沒有對(duì)此項(xiàng)參數(shù)的要求。那么，可以根據(jù)公式計(jì)算重合誤差。在動(dòng)態(tài)情況下，如果一個(gè)粒子進(jìn)入光敏區(qū)之前，光敏區(qū)無任何粒子，此時(shí)計(jì)數(shù)器仍然顯示為一個(gè)粒子，這種情況下粒子的計(jì)數(shù)由下式給出：其中，Ni 為儀器所顯示的粒子濃度;Nt 為粒子濃度;V 為光敏區(qū)容積。此公式可以對(duì)常規(guī)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的重合計(jì)數(shù)誤差作一個(gè)比較保守的計(jì)算。
盡管大部分的塵埃粒子計(jì)數(shù)器廠家都使用相同的原則，但是每一家的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)都是不一樣的。
比如塵埃粒子計(jì)數(shù)器的流量、靈敏度、尺寸范圍和計(jì)數(shù)通道數(shù)量、激光或激光二極管的耐用性、光源的壽命、保持校準(zhǔn)的能力都是需要考慮的重要因素。
通常，根據(jù)儀器的規(guī)格和成本來選擇在潔凈室中使用的塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
以下是應(yīng)該考慮的問題及因素：
1.這個(gè)粒子計(jì)數(shù)器是否會(huì)被用于認(rèn)證潔凈室和從測(cè)試完一個(gè)位置以后然后到另一個(gè)位置?
2.預(yù)計(jì)收集什么類型的數(shù)據(jù)?將這些信息記錄為簡(jiǎn)單的合格/不合格?還是將信息記錄到電子表格或數(shù)據(jù)庫(kù)中?
3.塵埃粒子計(jì)數(shù)器是否會(huì)被用來進(jìn)行連續(xù)的動(dòng)態(tài)的潔凈室粒子監(jiān)測(cè)?粒子計(jì)數(shù)器是否打算與環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)連接?
4.粒子計(jì)數(shù)器將用于什么類型的環(huán)境?是將其用于ISO 3級(jí)潔凈室進(jìn)行常規(guī)顆粒計(jì)數(shù)，還是將其用于驗(yàn)證流動(dòng)的關(guān)鍵工藝過程?
5.零計(jì)數(shù)水平或虛假計(jì)數(shù)速率：使用經(jīng)過濾的空氣以流速持續(xù)給定的時(shí)間量的錯(cuò)誤報(bào)告的顆粒的數(shù)量。這個(gè)正確的報(bào)告是每5分鐘的粒子數(shù)量。(期望的零計(jì)數(shù)率應(yīng)該小于每5分鐘1次)
6.操作人員是否將塵埃粒子計(jì)數(shù)器放在周圍，是將其放置在關(guān)鍵的工藝的工作臺(tái)上，還是將其安裝在可以移動(dòng)的小車上?
7.靈敏度：可檢測(cè)的zui小尺寸的顆粒。
8.通道：這是根據(jù)計(jì)算的每個(gè)顆粒的相應(yīng)尺寸，顆粒所放入的“箱”的數(shù)量。通道以微米表示。例如，你可能有一個(gè)4通道的粒子計(jì)數(shù)器。這意味著可以在4個(gè)不同的通道中對(duì)粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)和分類。通道的實(shí)例是：0.1μm，0.2μm，0.3μm，0.5μm，1.0μm，5.0μm。
9.計(jì)數(shù)效率：測(cè)量的顆粒濃度與真實(shí)顆粒濃度的比率。使用更靈敏的儀器測(cè)量真實(shí)的顆粒濃度，在被測(cè)儀器的zui小顆粒尺寸下計(jì)數(shù)效率為99%。設(shè)計(jì)合理的儀器應(yīng)具有50%的計(jì)數(shù)效率。
10.流速：這是通過粒子計(jì)數(shù)器的空氣量。這通常以每分鐘立方英尺表示。常見的流量為1.0 cfm和0.1cfm。流量越大，抽空氣的泵越大，粒子計(jì)數(shù)器越大。
通常情況下，zui小尺寸是通過其他標(biāo)準(zhǔn)選擇的。雖然這是一個(gè)重要的考慮因素，但也應(yīng)該考慮其他參數(shù)。
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