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激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)部零件測(cè)量功能分析

閱讀:42發(fā)布時(shí)間:2023-2-11

一般的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要由測(cè)量室、光源、氣泵濾波器、流量監(jiān)測(cè)、光檢測(cè)器和必要的電路系統(tǒng)組成,它們各自在不同的區(qū)域發(fā)揮著不同的作用,那么這些軟件功能是什么呢?下面我們一起來(lái)探索這其中的奧秘吧!

1、測(cè)量室

測(cè)量室是觀(guān)察顆粒的空間,收集的空氣通過(guò)測(cè)量室。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源通過(guò)透鏡?狹縫照射測(cè)量室,以形成體積約為幾立方毫米的光敏區(qū)域。當(dāng)空氣中的灰塵通過(guò)光敏區(qū)域時(shí),一部分光能被聚光透鏡以入射光的角度(90度或70度)散射,然后投射到光電探測(cè)器上。

2、空氣泵和過(guò)濾器

空氣泵位于儀器內(nèi)部,允許儀器產(chǎn)生樣品流??諝獗眯枰驮胍?、小振動(dòng)、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過(guò)濾器應(yīng)能過(guò)濾掉大于0.3μm的顆粒,以防止從儀器排出的空氣影響清潔區(qū)域。

3、光探測(cè)器光電探測(cè)器是將散射光能轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換裝置。塵埃粒子計(jì)數(shù)器中常用的光電探測(cè)器是光電倍增管和光電二ji管。

光電倍增管將光電子轉(zhuǎn)換成數(shù)萬(wàn)次,并將其轉(zhuǎn)換成幾毫伏到幾十毫伏的電信號(hào)。它具有良好的光譜線(xiàn)性。?快速響應(yīng)時(shí)間?小暗電流的優(yōu)點(diǎn)很短。當(dāng)光電倍增管工作時(shí),需要增加幾百伏的負(fù)高壓。儀器中有相應(yīng)的高壓發(fā)生電路。調(diào)試或校準(zhǔn)儀器時(shí)要注意。


激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器


4、流量監(jiān)控

粉塵顆粒計(jì)數(shù)器的取樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min,進(jìn)口儀器通常標(biāo)記為0.1cfm(立方英尺/分鐘)或1cfm,主要是為了方便Fed-Std-209E。

5、電路系統(tǒng)

通過(guò)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換不同粒徑的粒子,并產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號(hào)。粒徑越大,脈沖電壓越高。信號(hào)電壓和粒徑之間的關(guān)系也稱(chēng)為轉(zhuǎn)換靈敏度。對(duì)于給定的塵埃粒子計(jì)數(shù)器,粒徑與脈沖電壓一一對(duì)應(yīng)。例如,塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度對(duì)于69mv為0.3μm,對(duì)于531mv為0.5μm,對(duì)于701mv為1.0μm等,如果塵埃粒子計(jì)數(shù)器當(dāng)檢測(cè)到100mv的脈沖時(shí),其大小為顆粒當(dāng)然大于0.3μm且小于0.5μm。

一般在我們?nèi)粘I钪?,使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用來(lái)檢測(cè)過(guò)濾器是否有泄漏現(xiàn)象,從而避免空氣過(guò)濾器泄漏而影響整個(gè)生產(chǎn)。塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要作用即是檢測(cè)各點(diǎn)的懸浮粒子是否超出潔凈區(qū)要求的范圍,如果是則有泄漏現(xiàn)象,需堵漏或更換。


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