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Park XE7高性價(jià)比原子力顯微鏡

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更新時(shí)間：2021-06-15 15:38:17瀏覽次數(shù)：158次

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Park XE7高性價(jià)比原子力顯微鏡

詳細(xì)介紹

1概覽

The economical choice for innovative research

Park XE7配有Park Systems的所有技術(shù)，而且價(jià)格十分親民。與Park Systems的其他高級(jí)型號(hào)相比，XE7在細(xì)節(jié)的設(shè)計(jì)上也相當(dāng)用心，是幫助您準(zhǔn)時(shí)且不超預(yù)算地完成研究的理想之選。

Uncompromised High Performance

在同級(jí)產(chǎn)品中，Park XE7能夠帶來(lái)納米級(jí)分辨率的測(cè)量效果。得益于的原子力顯微鏡架構(gòu)，即獨(dú)立的XY軸和Z軸柔性掃描器，XE7能夠?qū)崿F(xiàn)平滑、正交且線性的掃描測(cè)量，從而精確成像和測(cè)量樣品的特征。此外，Park所的True Non-Contact™模式還能為您帶來(lái)的圖像效果，探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會(huì)受影響。

For Current and Future Needs

在Park XE7的幫助下，現(xiàn)在與未來(lái)皆在您的掌控中。Park XE7帶有業(yè)內(nèi)最多數(shù)量的測(cè)量模式。這些模式不僅能滿足您目前的需求，也考慮到未來(lái)不斷變化的需求。再者，XE7具有市場(chǎng)上最開源的設(shè)計(jì)，允許您整合其他附件和儀器，從而滿足您特殊的研究需求。

Easy to Use and High Productivity

Park XE7擁有簡(jiǎn)潔的圖形用戶界面和自動(dòng)化工具，即便是初學(xué)者也可以快速地完成對(duì)樣品的掃描。無(wú)論是預(yù)準(zhǔn)直探針、簡(jiǎn)單的樣品和探針更換、輕松的激光準(zhǔn)直、自上而下的同軸視角以及用戶友好型掃描控制和軟件處理，XE7能夠全力推動(dòng)研究生產(chǎn)力的提高。

Economical Beyond the System Cost

Park XE7不僅僅是實(shí)惠的研究級(jí)原子力顯微鏡，也是總體成本的原子力顯微鏡。Park XE7中所搭載的True Non-Contact™模式讓用戶無(wú)需頻繁更換昂貴的探針，并且它配有業(yè)內(nèi)最多的掃描模式，兼容性，讓您可隨時(shí)升級(jí)系統(tǒng)功能，從而延長(zhǎng)產(chǎn)品的使用壽命。

2技術(shù)信息

Accurate XY Scan by Crosstalk Elimination

Park Systems的串?dāng)_消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問題。我們使用了二維柔性平臺(tái)專門掃描樣品的XY軸位置，并通過壓電疊堆傳動(dòng)裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺(tái)采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運(yùn)動(dòng)軌跡。帶寬要求遠(yuǎn)低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動(dòng)裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz)。

上圖(a)表示Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零，而(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率，(c)展示了這些背景曲率的橫截面。

上圖展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí)，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級(jí)光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當(dāng)X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí)，平面外移動(dòng)可達(dá)80 nm。而在相同的掃描范圍內(nèi)，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動(dòng)則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是Z軸伺服回應(yīng)。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無(wú)接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 µm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應(yīng)極其精準(zhǔn)，探針可以精確地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動(dòng)，而不會(huì)壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應(yīng)在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。

Best Life, by True Non-Contact™ Mode

在True Non-Contact™模式中，探針與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針振動(dòng)幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護(hù)了探針和樣品。

Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力顯微鏡探針的十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會(huì)快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對(duì)于材質(zhì)較軟的樣品，探針會(huì)破壞樣品，導(dǎo)致其高度測(cè)量不準(zhǔn)確。相應(yīng)地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的精確數(shù)據(jù)。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護(hù)探針，從而延長(zhǎng)其壽命，并減少對(duì)于樣品的破壞。下圖中以1:1的長(zhǎng)寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。