顯微激光拉曼光譜儀
◆RealStandard激光拉曼的新時代
拉曼分光法和紅外分光法都是測定振動光譜法,但是和紅外分光法相比容易取樣,具有可以測量到紅外分光法無法測量的微小部位等特長的同時,需要操作者具有一定的測量技能,包括決定的測量條件和能一定程度上調整光學系等的技能。NRS-5000/7000系列具有顯微激光拉曼光譜儀所要求的功能,可以自動控制系統(tǒng)和光學系,可以獲得穩(wěn)定的高精度的數(shù)據(jù)。搭載波數(shù)和拉曼強度的自動補正和測定建議輔助功能,具有高速映射功能。
◆NRS-5100/5200
NRS-5000系列的分光器,采用可對應多種應用軟件的焦點距離為300mm高性能分光器,最多可以搭載3枚光柵。搭載低波數(shù)測定組件的NRS-5200可以測量10cm−1的低波數(shù)領域的測量。
◆NRS-7100/7200
NRS-7000系列的分光器具有500mm的焦點距離、可實現(xiàn)高分辨率的測量。最多可以搭載4枚光柵。NRS-7200搭載低波數(shù)測量組件可實現(xiàn)低雜散光測量,可測量到5cm−1低波數(shù)領域。
◆具有良好硬件的拉曼測量
▼高性能的分光器
采用像差補正型Czerny-Tuner分光系統(tǒng)、可提高檢測器的成像功能,測到高質量的光譜。波數(shù)移動再現(xiàn)性采取高精度直接驅動旋轉編碼器可實現(xiàn)0.1cm−1以下的高再現(xiàn)性。另外利用光柵自動切換功能可同時搭載多個光柵。
▼高強度、高剛性系統(tǒng)的高穩(wěn)定性
光學系配有不受環(huán)境溫度變化和抗震動的結實構造的機箱。整個系統(tǒng)設置在鋁蜂窩材料臺上具有絕好的再現(xiàn)性。
▼DSF(DualSpatialFiltration)優(yōu)異共焦點性
由于共焦點光學系空間分解光圈的重疊,可以高精度的除去雜散光,從而可以只檢測焦點位置的拉曼散射光。由于這個裝置深度方向的分辨率為1μm(在Si電路板上)。另外,為了提高空間分辨率,在對熒光物質進行異物分析時,可以除去基礎熒光的影響只導入樣品的拉曼散射光。
▼低波數(shù)測定
低雜散光分光器和高性能拒波濾光片組合標準可以測量50cm−1~。特別是測定及低波數(shù)的情況
,NRS-5200/7200搭載低波數(shù)測量組件是最合適的選擇。低波數(shù)測量主要適用于無機物或結晶多形體。
L-*的低波數(shù)光譜
◆自動化的的測定環(huán)境
▼光學調整的自動化
自動校準是指用光傳感器來監(jiān)控激光,使用激光校準鏡自動調整到最合適的位置。自動拉曼光路調整功能是指調整光軸將集光后的拉曼散射光的焦點在入射狹縫上。
▼SRI(SpatialResolutionImage)/SGI(SlitGuideImage)
SRI是指在顯微畫像上可實現(xiàn)激光和空間分解光圈畫像的重疊表示。SGI是指從分光器的入射狹縫側照射標記用的LD激光,狹縫的畫像投影到顯微鏡臺上。
▼搭載多個激光,可實現(xiàn)樣品的測量
從UV到近紅外激光主機內部2臺、外部最多可以搭載6臺、用軟件切換。NRS-5000/7000系列的標準激光為532nm的綠色激光。但是,在這個波長激發(fā)的話,有出現(xiàn)熒光不能準確測量的樣品。這種情況使用785nm等的長波長激光可以抑制熒光的產生。
抑制了熒光的顏料拉曼光譜
▼雙重檢測器切換構造和InGaAs檢測器
NRS-5000/7000系列作為選項可以搭載2臺檢測器。CCD檢測器和InGaAs檢測器、可以切換使用。對于即使在785nm也出現(xiàn)熒光難測量的活體樣品,農產品等可在1064nm測到良好的拉曼波峰。
木材(木質素)的拉曼光譜
▼多彩的顯微畫像觀察
顯微畫像是由內置在主機內部的高解像度的CMOS照相機表示在PC的熒屏上、通過數(shù)碼擴大功能可以實現(xiàn)高倍率的觀測。用肉眼直接觀測或者用隨機像機以外的像機進行觀測時,可以安裝雙眼鏡筒或三眼鏡筒。
▼觀察功能
RS-5000/7000系列可以追加顯微鏡或微分干涉顯微鏡的功能。微分干涉觀察在觀察透明樣品等時,樣品的對比度被著重,容易觀察。偏光觀察是指對于通常的可見光比較難觀察的單晶體,礦物質,高分子膠卷中的異物等,通過偏光觀察,可以比較容易。
觀察型光纖探針
▼宏觀測量和光纖探針測量
通過選項可以進行宏觀測量和光纖探針測量。宏觀測量是指通過用直徑50?100μm的激光光束照射樣品,可以得到樣品平均信息。光纖探針測量適合于insitu測定或反映監(jiān)測。
◆新時代的高速成像SPRIntS成像系統(tǒng)
半導體材料的高分辨率成像1
(100倍物鏡、100nm間隔)
日本分光的SPRIntS成像系統(tǒng)、具有以下功能,通過掃描鏡激光高速掃描樣品進行高速成像測定的VertiScan、高速讀取CCD檢測器數(shù)據(jù)的高速讀取功能、VertiScan和Z自動臺組合3D成像、AF自動聚焦和多功能聚焦功能。
半導體材料的高分辨率成像2
(100倍物鏡、40nm間隔)VertiScan激光對樣品垂直照射不破壞共焦點性,獲得無歪斜高品質的圖像數(shù)據(jù)。因為激光在最小25nm間隔移動(使用100倍物鏡時)對微小結構的解析發(fā)揮威力。從「半導體材料(硅膠)的高分辨率成像2」的數(shù)據(jù)可以確認到大約250nm的空間分辨率。
▼3D成像
3D成像限度發(fā)揮共焦點的優(yōu)點,把樣品的深度方向的信息跟平面信息結合,提供樣品的3D化學影像。
液晶面板結構影像(左),作成顯示各層特征譜帶4D成像
全焦點畫像
▼自動聚焦和多焦點
成像系統(tǒng)附帶自動聚焦和多焦點功能。Z自動臺讀取并處理顯微鏡焦點位置變化的各個畫像,可以獲得在所有面焦點位置的全焦點畫像。另外,可以構筑3次元形狀觀察圖像。
◆光譜管理器實現(xiàn)拉曼分析真正的標準
NRS-5000/7000系列軟件的開發(fā)和紅外顯微鏡IRT-5000/7000采用共通的理念,搭載意用的高度的解析功能。
▼測定程序
測量程序由根據(jù)功能不同分成不同的窗口來完成。對于測量數(shù)據(jù)可以即時進行波數(shù)補正,感度補正、熒光補正、宇宙線除去??梢远帱c測量,線測量、3D測量,根據(jù)多重畫像合成大范圍的顯微畫像,設定測定點和測定區(qū)域。
測量光柵(左)和熒光補正前(右上)熒光補正后(右下)
、
解析程序(成像系統(tǒng))
▼解析程序
標準的分析程序包括:示差光譜,峰值檢測,曲線擬合以及熒光自動補正等功能。當配備成像系統(tǒng)時,從光譜圖可以計算峰高/峰高比,面積/面積比、峰值漂移量,頻譜帶寬的半值,附帶構建化學圖像軟件。
▼規(guī)格
▼NRS-5000/7000
型號 | NRS-5100 | NRS-5200 | NRS-7100 | NRS-7200 |
分光器 焦點距離 | 像差補正Czerny-Turner型分光器 f=300mm | 像差補正Czerny-Turner型分光器 f=500mm |
波數(shù)驅動 | 高精度直接驅動旋轉編碼器方式 |
測量低波數(shù)組件 | - | 標配 | - | 標配 |
測定波數(shù)范圍 (拉曼波峰漂移值) | 50~8000cm−1 (532nm激發(fā)、標準阻波濾光片) | 10~8000cm−1 (532nm激發(fā)、測量低波數(shù)組件) | 50~8000cm−1 (532nm激發(fā)、標準阻波濾光片) | 5~8000cm−1 (532nm激發(fā)、標準阻波濾光片) |
分解 | 1cm−1/pixel(532nm激發(fā)) 選項:0.4cm−1/pixel(532nm激發(fā)) | 0.7cm−1/pixel(532nm激發(fā)) 選項:0.3cm−1/pixel(532nm激發(fā)) |
可同時搭載光柵數(shù)量 | 3枚 | 4枚 |
標準檢測器 | 電子冷卻CCD檢測器 |
檢測器切換 | 選項 |
顯微觀察 | 高解像度內置CMOS相機 |
共焦點光學系 | 標準 |
DSF | 標準 |
SRI (空間分辨率成像) | 標準 |
標準臺 | 手動XYZ臺 |
選項 樣品臺 | XY自動臺?Z自動臺 |
SPRIntS 成像 | 選項: VertiScan、高速數(shù)據(jù)讀取、3D成像、 Z自動臺、自動聚焦 |
自動臺 成像 | 選項:成像測定、3D成像、XYZ自動臺、 自動聚焦功能 |
自動調整機構 | 激光自動校準、拉曼光自動調整 |
霓虹燈 | 標準(波數(shù)補正用) |
安全機構 | 聯(lián)鎖機構設計內置電動樣品室門,激光光路保護機箱(1級標準) |