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上海拓貝電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2022-08-09 12:12:25瀏覽次數(shù)：136次
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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家
商鋪產(chǎn)品：146條
所在地區(qū)：上海上海
聯(lián)系人：董先生 （業(yè)務(wù)代表）
超級(jí)黃金膜（黃光室專(zhuān)用）超級(jí)黃金膜為黃光室進(jìn)行IC晶片微影成像術(shù)的區(qū)域，將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶圓上，而后再放置于曝光機(jī)下進(jìn)行曝光，以使紫外線光源透過(guò)光罩照射于光阻而得到感光圖像，最后再以藥劑進(jìn)行顯影而得到實(shí)際圖像
超級(jí)黃金膜為黃光室進(jìn)行IC晶片微影成像術(shù)的區(qū)域，將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶圓上，而后再放置于曝光機(jī)下進(jìn)行曝光，以使紫外線光源透過(guò)光罩照射于光阻而得到感光
圖像，最后再以藥劑進(jìn)行顯影而得到實(shí)際圖像。早期曝光機(jī)的光源為全光譜光源，后演進(jìn)到G-LINE（436nm）光源，目前廣泛使用的為I-LINE（365nm）光源，對(duì)于0.3ūm
線寬以下的IC制程，則需采用深紫外線（deep UV）248nm光源，甚至X光或電子束，目前光源較采用高壓水銀（汞）弧燈，由于其特性頻譜，所以須經(jīng)過(guò)濾光片以獲得所需的I－
LINE(365mm)光線。為了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光機(jī)以外的光線照射而曝光，所以整個(gè)作業(yè)必須在黃光室下進(jìn)行，換言之，所有照明用的光源須加以過(guò)濾，照明燈底
罩及各式隔間門(mén)及窗皆應(yīng)具有過(guò)濾波長(zhǎng)380nm紫外光的能力。但必須注意的一點(diǎn)，有些黃色透明板雖然具有黃光，但對(duì)于紫外光卻未*隔絕，嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，這是不合格的產(chǎn)品。
因?yàn)槌１挥糜邳S光室的5mm 黃色壓克力板，在I－LINE（365nm）附近確有不少的穿透率。期間提供紫外線（UV ）阻斷效果，特別適宜于集成電路制造廠商黃光區(qū)的照明。
的防護(hù)袖套確保燈管的光色不變。這種黃金膜比普通黃光膜的紫外線阻斷能力更強(qiáng)，而且隔斷關(guān)鍵的G，H和I光譜線，保證在燈管全壽命期間阻隔UV 紫外線。CovRguard
Gold.可以*過(guò)濾下列紫外波段：UV-C（200-280nm）UV-B（280-315nm）同時(shí)可以幾乎過(guò)濾UV-A（315nm-400nm ）以及一部分可見(jiàn)光，極限光譜為500nm 。
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