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日本filmetrics對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng)F60

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時(shí)間:2024-05-15 07:35:23瀏覽次數(shù):1081次

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測量范圍 1 類型 數(shù)字式
日本filmetrics對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng)F60
F60自動(dòng)測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高精度機(jī)型,具有缺口檢測、自動(dòng)基線功能和互鎖機(jī)制。

日本filmetrics對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng)F60

F60自動(dòng)測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高精度機(jī)型,具有缺口檢測、自動(dòng)基線功能和互鎖機(jī)制。
只需將樣品放在載物臺(tái)上,然后單擊測量按鈕即可自動(dòng)執(zhí)行對(duì)齊、基線和膜厚映射。

主要特點(diǎn)

  • F50高精度機(jī)型,帶缺口檢測、自動(dòng)基線功能和互鎖機(jī)制

  • 自動(dòng)測量對(duì)齊、基線和薄膜厚度映射

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

產(chǎn)品陣容

模型F60-tF60-t-UVF60-t-近紅外F60-t-EXR
測量波長范圍380 – 1050nm
190 – 1100nm950 – 1700nm380 – 1700nm
膜厚測量范圍20nm – 70μm5nm – 40μm100nm – 250μm20nm – 250μm
準(zhǔn)確性± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度± 0.2% 薄膜厚度
2納米1納米3納米2納米

測量示例

可以測量硅晶片上的氧化膜、抗蝕劑等。只需設(shè)置樣本,對(duì)齊、參考等將*自動(dòng)完成。

 

硅基板上氧化膜的測量



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