黃生
日本pureron超高純度小型氣體凈化器GP/GPF系列
日本pureron超高純度小型氣體凈化器GP/GPF系列
超高純度小型氣體凈化器 GP/GPF系列
- 不同條件下,可去除可惰性氣體和特殊氣體中1PPB以下的水分、氧氣、氫化物等雜質(zhì)。
- 內(nèi)置的初步過濾用的濾材全部標準使用SUS316L,不會引起腐蝕產(chǎn)生生顆粒等化學反應。
- HBr、HCl等強腐蝕性特殊氣體中所含水分,100PPB(分析裝置的檢測界限)以下可以去除。
- 小型、輕量的GP-05型和過濾器同樣大?。ㄩL度84mm),僅重120g。
- 根據(jù)不同氣體類型,350℃-400℃的加熱再激活處理可在使用壽命期限內(nèi)多次重復使用。
凈化能力 | 雜質(zhì):1PPB以下 出口側(cè)雜質(zhì)合計:10PPB以下 (和條件相關) |
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材質(zhì) | 外罩:SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 濾材:SUS316L 凈化劑:金屬?吸氣劑、其它 |
流量范圍 | 0.5LPM~20LPM(隨類型/壓力條件變化) |
使用壓力 | 0.97MPa(140.65PSIG) |
使用溫度 | 室溫或者350~400℃(隨用途變化) |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec 以下 |
連接零件 | 1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal |
氣體凈化器
超高純度氣體凈化器能夠高效率除去惰性氣體和特種氣體中的水分、氧氣、碳氫化合物等雜質(zhì)。
- GP/GPF系列: 凈化材料:金屬、吸氣劑、其它
- GPFC系列: 凈化材料:單一球狀活性炭